• ଇନଡୋର କାର୍ବନ ମନୋକ୍ସାଇଡ୍ କାର୍ବନ ଡାଇଅକ୍ସାଇଡ୍ ମିଥେନ କ୍ଲୋରାଇନ୍ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ମଲ୍ଟି ପାରାମିଟର ଗ୍ୟାସ୍ ଡିଟେକ୍ଟର ଆଲାର୍ମ ଉପକରଣ |

ଇନଡୋର କାର୍ବନ ମନୋକ୍ସାଇଡ୍ କାର୍ବନ ଡାଇଅକ୍ସାଇଡ୍ ମିଥେନ କ୍ଲୋରାଇନ୍ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ମଲ୍ଟି ପାରାମିଟର ଗ୍ୟାସ୍ ଡିଟେକ୍ଟର ଆଲାର୍ମ ଉପକରଣ |

ଉଚ୍ଚ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା, ପୋର୍ଟେବଲ୍ ଏବଂ ମିନିଟ୍ରାଇଜଡ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସରର ବିକାଶ ପରିବେଶ ମନିଟରିଂ, ସୁରକ୍ଷା, ଡାକ୍ତରୀ ନିଦାନ ଏବଂ କୃଷି କ୍ଷେତ୍ରରେ ଅଧିକ ଧ୍ୟାନ ଆକର୍ଷଣ କରୁଛି |ବିଭିନ୍ନ ଚିହ୍ନଟ ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକ ମଧ୍ୟରେ, ଧାତୁ-ଅକ୍ସାଇଡ୍-ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର (MOS) କେମୋ-ପ୍ରତିରୋଧକ ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସରଗୁଡିକ ଉଚ୍ଚ ସ୍ଥିରତା, ସ୍ୱଳ୍ପ ମୂଲ୍ୟ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା ହେତୁ ବ୍ୟବସାୟିକ ପ୍ରୟୋଗଗୁଡ଼ିକ ପାଇଁ ସବୁଠାରୁ ଲୋକପ୍ରିୟ ପସନ୍ଦ |ସେନସର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାକୁ ଆହୁରି ଉନ୍ନତ କରିବା ପାଇଁ ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ପନ୍ଥା ହେଉଛି MOS ନାନୋମେଟେରିଆଲ୍ସରୁ ନାନୋସାଇଜଡ୍ MOS- ଆଧାରିତ ହେଟେରୋଜୁଙ୍କସନ୍ (ହେଟେରୋ-ନାନୋଷ୍ଟ୍ରକଚର୍ଡ୍ MOS) ସୃଷ୍ଟି |ଅବଶ୍ୟ, ଏକ ହେଟେରୋନାନଷ୍ଟ୍ରକଚର୍ଡ୍ MOS ସେନ୍ସରର ସେନ୍ସିଂ ମେକାନିଜିମ୍ ଗୋଟିଏ MOS ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସର ଠାରୁ ଭିନ୍ନ, କାରଣ ଏହା ବହୁତ ଜଟିଳ |ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ପଦାର୍ଥର ଶାରୀରିକ ଏବଂ ରାସାୟନିକ ଗୁଣ (ଯେପରିକି ଶସ୍ୟ ଆକାର, ତ୍ରୁଟି ଘନତା, ଏବଂ ପଦାର୍ଥ ଅମ୍ଳଜାନ ଖାଲି), କାର୍ଯ୍ୟ ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ ଉପକରଣ ସଂରଚନା ସହିତ ସେନ୍ସର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ବିଭିନ୍ନ ପାରାମିଟର ଦ୍ୱାରା ପ୍ରଭାବିତ ହୋଇଥାଏ |ଏହି ସମୀକ୍ଷା ଉଚ୍ଚ କ୍ଷମତା ସମ୍ପନ୍ନ ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସର ଡିଜାଇନ୍ ପାଇଁ ହେଟେରୋଜିନସ୍ ନାନୋଷ୍ଟ୍ରକଚର୍ଡ୍ MOS ସେନ୍ସର ସେନ୍ସିଂ ମେକାନିଜିମ୍ ବିଶ୍ଳେଷଣ କରି ଅନେକ ଧାରଣା ଉପସ୍ଥାପନ କରେ |ଏହା ସହିତ, ଉପକରଣର ଜ୍ୟାମିତିକ ଗଠନର ପ୍ରଭାବ, ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ପଦାର୍ଥ ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟ କରୁଥିବା ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ ମଧ୍ୟରେ ସମ୍ପର୍କ ଦ୍ୱାରା ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରାଯାଏ |ସେନସର ଆଚରଣକୁ ବ୍ୟବସ୍ଥିତ ଭାବରେ ଅଧ୍ୟୟନ କରିବାକୁ, ଏହି ଆର୍ଟିକିଲ୍ ବିଭିନ୍ନ ହେଟେରୋନାନଷ୍ଟ୍ରକଚର୍ଡ୍ ସାମଗ୍ରୀ ଉପରେ ଆଧାର କରି ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକର ତିନୋଟି ସାଧାରଣ ଜ୍ୟାମିତିକ ସଂରଚନାଗୁଡ଼ିକର ଧାରଣାର ସାଧାରଣ ଯନ୍ତ୍ରକ introduced ଶଳର ପରିଚୟ ଏବଂ ଆଲୋଚନା କରିଥାଏ |ଭବିଷ୍ୟତର ପାଠକମାନଙ୍କ ପାଇଁ ଏହି ସମୀକ୍ଷା ଏକ ମାର୍ଗଦର୍ଶିକା ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରିବ ଯେଉଁମାନେ ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସର ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ଯନ୍ତ୍ରକ study ଶଳ ଅଧ୍ୟୟନ କରନ୍ତି ଏବଂ ଉଚ୍ଚ କ୍ଷମତା ସମ୍ପନ୍ନ ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସର ବିକାଶ କରନ୍ତି |
ବାୟୁ ପ୍ରଦୂଷଣ ଏକ ଗମ୍ଭୀର ସମସ୍ୟା ଏବଂ ଏକ ଗମ୍ଭୀର ବିଶ୍ୱ ପରିବେଶ ସମସ୍ୟା ଯାହା ଲୋକ ଏବଂ ଜୀବଜନ୍ତୁଙ୍କ କଲ୍ୟାଣ ପାଇଁ ବିପଦ ସୃଷ୍ଟି କରୁଛି |ଗ୍ୟାସୀୟ ପ୍ରଦୂଷଣର ନିଶ୍ୱାସ ପ୍ରଶ୍ୱାସ ରୋଗ, ଫୁସଫୁସ କର୍କଟ, ଲ୍ୟୁକେମିଆ ଏବଂ ଅକାଳ ମୃତ୍ୟୁ 1,2,3,4 ଭଳି ଅନେକ ସ୍ୱାସ୍ଥ୍ୟ ସମସ୍ୟା ସୃଷ୍ଟି କରିପାରେ |2012 ରୁ 2016 ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ବାୟୁ ପ୍ରଦୂଷଣରେ ଲକ୍ଷ ଲକ୍ଷ ଲୋକଙ୍କର ମୃତ୍ୟୁ ହୋଇଥିବା ରିପୋର୍ଟ କରାଯାଇଥିଲା ଏବଂ ପ୍ରତିବର୍ଷ କୋଟି କୋଟି ଲୋକ ଖରାପ ବାୟୁ ଗୁଣର ସମ୍ମୁଖୀନ ହୋଇଥିଲେ।ତେଣୁ, ପୋର୍ଟେବଲ୍ ଏବଂ ମିନିଟ୍ରାଇଜଡ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସର ବିକାଶ କରିବା ଜରୁରୀ ଅଟେ ଯାହା ରିଅଲ୍-ଟାଇମ୍ ଫିଡବ୍ୟାକ୍ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ଚିହ୍ନଟ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ପ୍ରଦାନ କରିପାରିବ (ଯଥା, ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା, ଚୟନକର୍ତ୍ତା, ସ୍ଥିରତା, ଏବଂ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଏବଂ ପୁନରୁଦ୍ଧାର ସମୟ) |ପରିବେଶ ମନିଟରିଂ ସହିତ, ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସରଗୁଡ଼ିକ ସୁରକ୍ଷା 6,7,8, ମେଡିକାଲ୍ ଡାଇଗ୍ନୋଷ୍ଟିକ୍ 9,10, ଆକ୍ୱାକଲଚର୍ 11 ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ କ୍ଷେତ୍ରରେ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଭୂମିକା ଗ୍ରହଣ କରିଥାଏ |
ଆଜି ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ, ବିଭିନ୍ନ ସେନ୍ସିଂ କ s ଶଳ ଉପରେ ଆଧାରିତ ଅନେକ ପୋର୍ଟେବଲ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସର ପ୍ରଚଳିତ ହୋଇଛି, ଯେପରିକି ଅପ୍ଟିକାଲ୍ 13,14,15,16,17,18, ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋକେମିକାଲ୍ 19,20,21,22 ଏବଂ ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିରୋଧକ ସେନ୍ସର 23,24 |ସେଥିମଧ୍ୟରୁ ଧାତୁ-ଅକ୍ସାଇଡ୍-ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର (MOS) ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିରୋଧକ ସେନ୍ସରଗୁଡ଼ିକ ସେମାନଙ୍କର ଉଚ୍ଚ ସ୍ଥିରତା ଏବଂ କମ୍ ମୂଲ୍ୟ 25,26 ହେତୁ ବ୍ୟବସାୟିକ ପ୍ରୟୋଗରେ ସବୁଠାରୁ ଲୋକପ୍ରିୟ |ଦୂଷିତ ଏକାଗ୍ରତା କେବଳ MOS ପ୍ରତିରୋଧର ପରିବର୍ତ୍ତନ ଚିହ୍ନଟ କରି ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରାଯାଇପାରେ |୧ ss ୦ ଦଶକର ପ୍ରାରମ୍ଭରେ, ZnO ପତଳା ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଉପରେ ଆଧାରିତ ପ୍ରଥମ କେମୋ-ପ୍ରତିରୋଧକ ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସର ରିପୋର୍ଟ କରାଯାଇଥିଲା, ଯାହା ଗ୍ୟାସ୍ ଚିହ୍ନଟ କ୍ଷେତ୍ରରେ 27,28 ପାଇଁ ବହୁତ ଆଗ୍ରହ ସୃଷ୍ଟି କରିଥିଲା ​​|ଆଜି, ଅନେକ ଭିନ୍ନ MOS ଗ୍ୟାସ୍ ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ସାମଗ୍ରୀ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ଏବଂ ସେମାନଙ୍କର ଭ physical ତିକ ଗୁଣ ଉପରେ ଆଧାର କରି ସେମାନଙ୍କୁ ଦୁଇଟି ଶ୍ରେଣୀରେ ବିଭକ୍ତ କରାଯାଇପାରେ: n- ପ୍ରକାର MOS ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ସହିତ ଅଧିକାଂଶ ଚାର୍ଜ ବାହକ ଭାବରେ ଏବଂ p- ପ୍ରକାର MOS ଅଧିକାଂଶ ଚାର୍ଜ ବାହକ ଭାବରେ ଛିଦ୍ର ସହିତ |ବାହକ ଚାର୍ଜ କରନ୍ତୁ |ସାଧାରଣତ ,, p- ପ୍ରକାର MOS n- ପ୍ରକାର MOS ଅପେକ୍ଷା କମ୍ ଲୋକପ୍ରିୟ ଅଟେ କାରଣ p- ପ୍ରକାର MOS (Sp) ର ଇନ୍ଦ୍ରିୟାତ୍ମକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା n- ପ୍ରକାର MOS (\ (S_p = \ sqrt {) ର ବର୍ଗ ମୂଳ ସହିତ ଆନୁପାତିକ | S_n} \)) ସମାନ ଅନୁମାନରେ (ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ସମାନ ମର୍ଫୋଲୋଜିକାଲ୍ ଗଠନ ଏବଂ ବାୟୁରେ ବ୍ୟାଣ୍ଡଗୁଡ଼ିକର ବଙ୍କା ହେବାର ସମାନ ପରିବର୍ତ୍ତନ) 29,30 |ତଥାପି, ସିଙ୍ଗଲ୍-ବେସ୍ MOS ସେନ୍ସରଗୁଡ଼ିକ ଏପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଅସୁବିଧାର ସମ୍ମୁଖୀନ ହୁଏ ଯେପରିକି ପର୍ଯ୍ୟାପ୍ତ ଚିହ୍ନଟ ସୀମା, ନିମ୍ନ ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା ଏବଂ ବ୍ୟବହାରିକ ପ୍ରୟୋଗଗୁଡ଼ିକରେ ଚୟନକର୍ତ୍ତା |ସେନସର ଆରେ ସୃଷ୍ଟି କରି (ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ନାକ କୁହାଯାଏ) ଏବଂ ଗଣନାକାରୀ ବିଶ୍ଳେଷଣ ଆଲଗୋରିଦମ ଯେପରିକି ଟ୍ରେନିଂ ଭେକ୍ଟର କ୍ୱାଣ୍ଟାଇଜେସନ୍ (LVQ), ମୂଖ୍ୟ ଉପାଦାନ ବିଶ୍ଳେଷଣ (PCA), ଏବଂ ଆଂଶିକ ସର୍ବନିମ୍ନ ବର୍ଗ (PLS) ବିଶ୍ଳେଷଣ 31 ଦ୍ୱାରା ସିଲେକ୍ଟିଭିଟି ସମସ୍ୟାକୁ ସମାଧାନ କରାଯାଇପାରିବ | 32, 33, 34, 35 ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ MOS40,41,42, ନୋବଲ୍ ମେଟାଲ୍ ନାନୋପାର୍ଟିକ୍ସ (NPs)) 43,44, କାର୍ବନ ନାନୋମେଟେରିଆଲ୍ 45,46 ଏବଂ କଣ୍ଡକ୍ଟିଭ୍ ପଲିମର୍ 47,48) ନାନୋସ୍କାଲ୍ ହେଟେରୋଜେକ୍ସନ୍ (ଅର୍ଥାତ୍, ହେଟେରୋନୋନଷ୍ଟ୍ରକ୍ଟ୍ରଡ୍ MOS) ଉପରୋକ୍ତ ସମସ୍ୟାର ସମାଧାନ ପାଇଁ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ପସନ୍ଦଯୋଗ୍ୟ ଉପାୟ |ପାରମ୍ପାରିକ ମୋଟା MOS ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ତୁଳନାରେ, ଉଚ୍ଚ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ପୃଷ୍ଠଭୂମି ସହିତ ନିମ୍ନ-ଡାଇମେନ୍ସନାଲ୍ MOS ଗ୍ୟାସ୍ ଆଡର୍ସପସନ୍ ପାଇଁ ଅଧିକ ସକ୍ରିୟ ସାଇଟ୍ ପ୍ରଦାନ କରିପାରିବ ଏବଂ ଗ୍ୟାସ୍ ବିସ୍ତାରକୁ ସହଜ କରିବ 36,37,49 |ଏହା ସହିତ, MOS- ଆଧାରିତ ହେଟେରୋନାନଷ୍ଟ୍ରକଚରର ଡିଜାଇନ୍ ହେଟେରୋଣ୍ଟେରଫେସରେ ବାହକ ପରିବହନକୁ ଅଧିକ ଟ୍ୟୁନ୍ କରିପାରିବ, ଫଳସ୍ୱରୂପ ବିଭିନ୍ନ ଅପରେଟିଂ ଫଙ୍କସନ୍ 50,51,52 ହେତୁ ପ୍ରତିରୋଧରେ ବଡ଼ ପରିବର୍ତ୍ତନ ଘଟିବ |ଏହା ସହିତ, କେତେକ ରାସାୟନିକ ପ୍ରଭାବ (ଯଥା, କାଟାଲାଇଟିସ୍ କାର୍ଯ୍ୟକଳାପ ଏବଂ ସିନର୍ଜିଷ୍ଟିକ୍ ଭୂପୃଷ୍ଠ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା) ଯାହା MOS ହେଟେରୋନାନଷ୍ଟ୍ରକଚରର ଡିଜାଇନ୍ରେ ଘଟେ ସେନ୍ସର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାକୁ ମଧ୍ୟ ଉନ୍ନତ କରିପାରିବ | ସେନ୍ସର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା, ଆଧୁନିକ କେମୋ-ପ୍ରତିରୋଧକ ସେନ୍ସରଗୁଡ଼ିକ ସାଧାରଣତ trial ପରୀକ୍ଷା ଏବଂ ତ୍ରୁଟି ବ୍ୟବହାର କରନ୍ତି, ଯାହା ସମୟ ସାପେକ୍ଷ ଏବଂ ଅପାରଗ |ତେଣୁ, MOS ଆଧାରିତ ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସରର ସେନ୍ସିଂ ମେକାନିଜିମ୍ ବୁ to ିବା ଜରୁରୀ କାରଣ ଏହା ଉଚ୍ଚ କ୍ଷମତା ସମ୍ପନ୍ନ ଦିଗଦର୍ଶକ ସେନ୍ସର ଡିଜାଇନ୍କୁ ମାର୍ଗଦର୍ଶନ କରିପାରିବ |
ସାମ୍ପ୍ରତିକ ବର୍ଷଗୁଡିକରେ, MOS ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସରଗୁଡିକ ଦ୍ରୁତ ଗତିରେ ବିକଶିତ ହୋଇଛି ଏବଂ MOS ନାନୋଷ୍ଟ୍ରକଚର୍ସ 55,56,57, ରୁମ୍ ତାପମାତ୍ରା ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସର 58,59, ସ୍ M ତନ୍ତ୍ର MOS ସେନ୍ସର ସାମଗ୍ରୀ 60,61,62 ଏବଂ ସ୍ପେସିଆଲିଟି ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସର ଉପରେ କିଛି ରିପୋର୍ଟ ପ୍ରକାଶ ପାଇଛି |ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ସମୀକ୍ଷାରେ ଏକ ସମୀକ୍ଷା ପେପର MOS ର ଅନ୍ତର୍ନିହିତ ଶାରୀରିକ ଏବଂ ରାସାୟନିକ ଗୁଣ ଉପରେ ଆଧାର କରି ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସରର ସେନ୍ସିଂ ମେକାନିଜିମ୍ ଉପରେ ଆଲୋକପାତ କରେ, ଅମ୍ଳଜାନ ଖାଲି 64 ର ଭୂମିକା, ହେଟେରୋନାନଷ୍ଟ୍ରକଚରର ଭୂମିକା 55, 65 ଏବଂ ହେଟେରୋଣ୍ଟେରଫେସ୍ 66 ରେ ଚାର୍ଜ ସ୍ଥାନାନ୍ତର | , ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ପାରାମିଟରଗୁଡିକ ସେନସର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରିଥାଏ, ହେଟେରୋଷ୍ଟ୍ରକଚର, ଶସ୍ୟ ଆକାର, ଅପରେଟିଂ ତାପମାତ୍ରା, ତ୍ରୁଟି ଘନତା, ଅମ୍ଳଜାନ ଖାଲି ସ୍ଥାନ, ଏବଂ ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ପଦାର୍ଥର ଖୋଲା ସ୍ଫଟିକ୍ ବିମାନ 25,67,68,69,70,71 |, ୨ ,। 73। ।ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, କୁମାର ଏବଂ ଅନ୍ୟମାନେ |77 ସମାନ ସାମଗ୍ରୀ ଉପରେ ଆଧାରିତ ଦୁଇଟି ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସର ରିପୋର୍ଟ କରିଛି (ଯଥା, TiO2 @ NiO ଏବଂ NiO @ TiO2 ଉପରେ ଆଧାରିତ ଦୁଇ ସ୍ତରୀୟ ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସର) ଏବଂ ବିଭିନ୍ନ ଡିଭାଇସ୍ ଜ୍ୟାମିତି ଯୋଗୁଁ NH3 ଗ୍ୟାସ୍ ପ୍ରତିରୋଧରେ ଭିନ୍ନ ପରିବର୍ତ୍ତନ ଦେଖିଲା |ତେଣୁ, ଏକ ଗ୍ୟାସ-ସେନ୍ସିଂ କ mechanism ଶଳ ବିଶ୍ଳେଷଣ କରିବାବେଳେ, ଉପକରଣର ଗଠନକୁ ଧ୍ୟାନ ଦେବା ଜରୁରୀ ଅଟେ |ଏହି ସମୀକ୍ଷାରେ, ଲେଖକମାନେ ବିଭିନ୍ନ ହେଟେରୋଜିନସ୍ ନାନୋଷ୍ଟ୍ରକଚର ଏବଂ ଡିଭାଇସ୍ ଗଠନ ପାଇଁ MOS- ଆଧାରିତ ଚିହ୍ନଟ ପ୍ରଣାଳୀ ଉପରେ ଧ୍ୟାନ ଦିଅନ୍ତି |ଆମେ ବିଶ୍ believe ାସ କରୁ ଯେ ଏହି ସମୀକ୍ଷା ଗ୍ୟାସ୍ ଚିହ୍ନଟ ପ୍ରଣାଳୀକୁ ବୁ understand ିବାକୁ ଏବଂ ବିଶ୍ଳେଷଣ କରିବାକୁ ଚାହୁଁଥିବା ପାଠକମାନଙ୍କ ପାଇଁ ଏକ ମାର୍ଗଦର୍ଶିକା ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରିପାରିବ ଏବଂ ଭବିଷ୍ୟତରେ ଉଚ୍ଚ କ୍ଷମତା ସମ୍ପନ୍ନ ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସର ବିକାଶରେ ସହାୟକ ହେବ |
ଡିମ୍ବିରି ଉପରେ1a ଗୋଟିଏ MOS ଉପରେ ଆଧାର କରି ଏକ ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସିଙ୍ଗ୍ ଯନ୍ତ୍ରର ମ basic ଳିକ ମଡେଲ୍ ଦେଖାଏ |ତାପମାତ୍ରା ବ As ଼ିବା ସହିତ MOS ପୃଷ୍ଠରେ ଅମ୍ଳଜାନ (O2) ଅଣୁଗୁଡ଼ିକର ଆଡସର୍ପସନ୍ MOS ରୁ ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ଆକର୍ଷିତ କରିବ ଏବଂ ଆୟନିକ୍ ପ୍ରଜାତି ସୃଷ୍ଟି କରିବ (ଯେପରିକି O2- ଏବଂ O-) |ତାପରେ, ଏକ n- ପ୍ରକାର MOS ପାଇଁ ଏକ ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ହ୍ରାସ ସ୍ତର (EDL) କିମ୍ବା p- ପ୍ରକାର MOS ପାଇଁ ଏକ ଛିଦ୍ର ସଂଗ୍ରହ ସ୍ତର (HAL) ତାପରେ MOS 15, 23, 78 ପୃଷ୍ଠରେ ସୃଷ୍ଟି ହୁଏ | O2 ଏବଂ the ମଧ୍ୟରେ ପାରସ୍ପରିକ କ୍ରିୟା | MOS ଭୂପୃଷ୍ଠର କଣ୍ଡକ୍ଟସନ୍ ବ୍ୟାଣ୍ଡକୁ ଉପରକୁ ବଙ୍କା କରି ଏକ ସମ୍ଭାବ୍ୟ ପ୍ରତିବନ୍ଧକ ସୃଷ୍ଟି କରେ |ପରବର୍ତ୍ତୀ ସମୟରେ, ଯେତେବେଳେ ସେନ୍ସର ଟାର୍ଗେଟ ଗ୍ୟାସର ସଂସ୍ପର୍ଶରେ ଆସେ, MOS ପୃଷ୍ଠରେ ଥିବା ଗ୍ୟାସ୍ ଆୟନିକ୍ ଅମ୍ଳଜାନ ପ୍ରଜାତି ସହିତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରେ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ (ଅକ୍ସିଡାଇଜ୍ ଗ୍ୟାସ୍) କିମ୍ବା ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ଦାନ (ଗ୍ୟାସ୍ ହ୍ରାସ) |ଟାର୍ଗେଟ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ଏବଂ MOS ମଧ୍ୟରେ ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ସ୍ଥାନାନ୍ତର EDL କିମ୍ବା HAL30,81 ର ମୋଟେଇକୁ ସଜାଡିପାରେ ଯାହାଫଳରେ MOS ସେନସର ସାମଗ୍ରିକ ପ୍ରତିରୋଧରେ ପରିବର୍ତ୍ତନ ଆସିଥାଏ |ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ହ୍ରାସ କରୁଥିବା ଗ୍ୟାସ୍ ପାଇଁ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ଗୁଡିକ ହ୍ରାସ କରୁଥିବା ଗ୍ୟାସରୁ ଏକ n- ପ୍ରକାର MOS କୁ ସ୍ଥାନାନ୍ତରିତ ହେବ, ଫଳସ୍ୱରୂପ ଏକ ନିମ୍ନ EDL ଏବଂ ନିମ୍ନ ପ୍ରତିରୋଧ, ଯାହାକୁ n- ପ୍ରକାର ସେନ୍ସର ଆଚରଣ କୁହାଯାଏ |ଏହାର ବିପରୀତରେ, ଯେତେବେଳେ ଏକ p- ପ୍ରକାରର MOS ହ୍ରାସ ହେଉଥିବା ଗ୍ୟାସର ସଂସ୍ପର୍ଶରେ ଆସିଥାଏ ଯାହା p- ପ୍ରକାରର ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ଆଚରଣ ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରେ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ଦାନ ହେତୁ HAL ସଂକୁଚିତ ହୁଏ ଏବଂ ପ୍ରତିରୋଧ ବ increases ିଯାଏ |ଅକ୍ସିଡାଇଜ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ପାଇଁ, ଗ୍ୟାସ୍ ହ୍ରାସ ପାଇଁ ସେନ୍ସର ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ବିପରୀତ ଅଟେ |
ଗ୍ୟାସ୍ ହ୍ରାସ ଏବଂ ଅକ୍ସିଡାଇଜ୍ କରିବା ପାଇଁ n- ପ୍ରକାର ଏବଂ p- ପ୍ରକାର MOS ପାଇଁ ମ Basic ଳିକ ଚିହ୍ନଟ ପ୍ରଣାଳୀ b ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସର ସହିତ ଜଡିତ ମୁଖ୍ୟ କାରଣ ଏବଂ ଫିଜିକୋ-ରାସାୟନିକ କିମ୍ବା ପଦାର୍ଥ ଗୁଣ
ମ basic ଳିକ ଚିହ୍ନଟ କ mechanism ଶଳ ବ୍ୟତୀତ, ବ୍ୟବହାରିକ ଗ୍ୟାସ ସେନସରରେ ବ୍ୟବହୃତ ଗ୍ୟାସ ଚିହ୍ନଟ ଯନ୍ତ୍ରଗୁଡ଼ିକ ଅତ୍ୟନ୍ତ ଜଟିଳ |ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ଏକ ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସର ପ୍ରକୃତ ବ୍ୟବହାର ନିଶ୍ଚିତ ଭାବରେ ଉପଭୋକ୍ତାଙ୍କ ଆବଶ୍ୟକତା ଉପରେ ନିର୍ଭର କରି ଅନେକ ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିବ (ଯେପରିକି ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା, ଚୟନକର୍ତ୍ତା ଏବଂ ସ୍ଥିରତା) |ଏହି ଆବଶ୍ୟକତା ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ପଦାର୍ଥର ଶାରୀରିକ ଏବଂ ରାସାୟନିକ ଗୁଣ ସହିତ ଘନିଷ୍ଠ ଭାବରେ ଜଡିତ |ଉଦାହରଣ ସ୍ .ରୁପ, Xu et al.71 ଦର୍ଶାଇଲା ଯେ SnO2 ଆଧାରିତ ସେନ୍ସରଗୁଡ଼ିକ ସର୍ବାଧିକ ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା ହାସଲ କରନ୍ତି ଯେତେବେଳେ ସ୍ଫଟିକ୍ ବ୍ୟାସ (d) SnO271 ର ଡେବି ଲମ୍ବ (λD) ର ସମାନ କିମ୍ବା ଦୁଇଗୁଣରୁ କମ୍ ଅଟେ |ଯେତେବେଳେ d ≤ 2λD, O2 ଅଣୁଗୁଡ଼ିକର ଆଡର୍ସପସନ୍ ପରେ SnO2 ସଂପୂର୍ଣ୍ଣ ଭାବରେ ନଷ୍ଟ ହୋଇଯାଏ, ଏବଂ ହ୍ରାସ କରୁଥିବା ଗ୍ୟାସରେ ସେନସର ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ସର୍ବାଧିକ |ଏହା ସହିତ, ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ବିଭିନ୍ନ ପାରାମିଟରଗୁଡିକ ସେନ୍ସର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଉପରେ ପ୍ରଭାବ ପକାଇପାରେ, ଅପରେଟିଂ ତାପମାତ୍ରା, ସ୍ଫଟିକ୍ ତ୍ରୁଟି, ଏବଂ ସେନ୍ସିଙ୍ଗ୍ ସାମଗ୍ରୀର ସ୍ଫଟିକ୍ ବିମାନଗୁଡିକ ମଧ୍ୟ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ କରିପାରେ |ବିଶେଷ ଭାବରେ, ଅପରେଟିଂ ତାପମାତ୍ରାର ପ୍ରଭାବକୁ ଟାର୍ଗେଟ ଗ୍ୟାସର ଆଡସର୍ପସନ୍ ଏବଂ ଡିସର୍ପସନ୍ ହାର ମଧ୍ୟରେ ସମ୍ଭାବ୍ୟ ପ୍ରତିଯୋଗିତା, ଏବଂ ଆଡ୍ସର୍ବେଡ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ଅଣୁ ଏବଂ ଅମ୍ଳଜାନ କଣିକା ମଧ୍ୟରେ ଭୂପୃଷ୍ଠ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳତା ଦ୍ୱାରା ବ୍ୟାଖ୍ୟା କରାଯାଇଥାଏ |ସ୍ଫଟିକ୍ ତ୍ରୁଟିର ପ୍ରଭାବ ଅମ୍ଳଜାନ ଖାଲି ଥିବା ବିଷୟ ସହିତ ଦୃ strongly ଭାବରେ ଜଡିତ [83, 84] |ଖୋଲା ସ୍ଫଟିକ୍ ଚେହେରାର ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳତା ଦ୍ୱାରା ସେନ୍ସରର କାର୍ଯ୍ୟ ମଧ୍ୟ ପ୍ରଭାବିତ ହୋଇପାରେ 67,85,86,87 |ନିମ୍ନ ସାନ୍ଦ୍ରତା ସହିତ ଖୋଲା ସ୍ଫଟିକ୍ ବିମାନଗୁଡିକ ଅଧିକ ଶକ୍ତି ସହିତ ଅଧିକ ସମନ୍ୱିତ ଧାତୁ କାଟେସନ୍ ପ୍ରକାଶ କରେ, ଯାହା ଭୂପୃଷ୍ଠ ଆଡର୍ସପସନ୍ ଏବଂ ପୁନ act ସକ୍ରିୟତାକୁ ପ୍ରୋତ୍ସାହିତ କରେ 88 |ସାରଣୀ 1 ରେ ଅନେକ ମୁଖ୍ୟ କାରଣ ଏବଂ ସେମାନଙ୍କର ସଂପୃକ୍ତ ଉନ୍ନତ ଅନୁଭବ ପ୍ରଣାଳୀଗୁଡ଼ିକ ତାଲିକାଭୁକ୍ତ |ତେଣୁ, ଏହି ବସ୍ତୁ ପାରାମିଟରଗୁଡିକ ସଜାଡିବା ଦ୍ୱାରା, ଚିହ୍ନଟ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାକୁ ଉନ୍ନତ କରାଯାଇପାରିବ, ଏବଂ ସେନସର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରୁଥିବା ମୁଖ୍ୟ କାରଣଗୁଡିକ ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରିବା ଅତ୍ୟନ୍ତ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ |
Yamazoe89 ଏବଂ Shimanoe et al।।ରିସେପ୍ଟର ଫଙ୍କସନ୍, ଗ୍ୟାସ୍ ଅଣୁଗୁଡ଼ିକ ସହିତ ଯୋଗାଯୋଗ କରିବାର MOS ପୃଷ୍ଠାର କ୍ଷମତାକୁ ବୁ .ାଏ |ଏହି କାର୍ଯ୍ୟଟି MOS ର ରାସାୟନିକ ଗୁଣ ସହିତ ନିବିଡ ଭାବରେ ଜଡିତ ଏବଂ ବିଦେଶୀ ଗ୍ରହଣକାରୀ (ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ ଧାତୁ NP ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ MOS) ପ୍ରବର୍ତ୍ତନ କରି ଯଥେଷ୍ଟ ଉନ୍ନତ ହୋଇପାରିବ |ଟ୍ରାନ୍ସଡୁସର କାର୍ଯ୍ୟ, ଗ୍ୟାସ୍ ଏବଂ MOS ପୃଷ୍ଠ ମଧ୍ୟରେ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାକୁ MOS ର ଶସ୍ୟ ସୀମା ଦ୍ୱାରା ପ୍ରାଧାନ୍ୟ ପ୍ରାପ୍ତ ଏକ ବ electrical ଦୁତିକ ସଙ୍କେତରେ ପରିଣତ କରିବାର କ୍ଷମତାକୁ ବୁ .ାଏ |ଏହିପରି, MOC କଣିକା ଆକାର ଏବଂ ବିଦେଶୀ ରିସେପ୍ଟରଗୁଡ଼ିକର ଘନତା ଦ୍ୱାରା ସମ୍ବେଦନଶୀଳ କାର୍ଯ୍ୟ ଯଥେଷ୍ଟ ପ୍ରଭାବିତ ହୁଏ |Katoch et al.90 ରିପୋର୍ଟ କରିଛି ଯେ ZnO-SnO2 ନାନୋଫିବ୍ରିଲ୍ସର ଶସ୍ୟ ଆକାର ହ୍ରାସ ହେତୁ ଅନେକ ହେଟେରୋଜୁଙ୍କସନ୍ ଗଠନ ହୋଇଥିଲା ଏବଂ ଟ୍ରାନ୍ସଡୁସର କାର୍ଯ୍ୟକାରିତା ସହିତ ସେନ୍ସର ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା ବୃଦ୍ଧି ପାଇଲା |ୱାଙ୍ଗ ଏଟ୍ .91 Zn2GeO4 ର ବିଭିନ୍ନ ଶସ୍ୟ ଆକାର ତୁଳନା କରିଥିଲେ ଏବଂ ଶସ୍ୟ ସୀମା ପ୍ରବର୍ତ୍ତନ କରିବା ପରେ ସେନ୍ସର ସମ୍ବେଦନଶୀଳତାର 6.5 ଗୁଣ ବୃଦ୍ଧି ପ୍ରଦର୍ଶନ କରିଥିଲେ |ଉପଯୋଗୀତା ହେଉଛି ଅନ୍ୟ ଏକ ପ୍ରମୁଖ ସେନ୍ସର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଯାହା ଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ MOS ସଂରଚନାରେ ଗ୍ୟାସର ଉପଲବ୍ଧତାକୁ ବର୍ଣ୍ଣନା କରେ |ଯଦି ଗ୍ୟାସ୍ ଅଣୁଗୁଡ଼ିକ ଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ MOS ସହିତ ପ୍ରବେଶ କରି ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରିପାରନ୍ତି ନାହିଁ, ତେବେ ସେନ୍ସର ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା ହ୍ରାସ ପାଇବ |ଉପଯୋଗୀତା ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ଗ୍ୟାସର ବିସ୍ତାର ଗଭୀରତା ସହିତ ନିବିଡ ଭାବରେ ଜଡିତ, ଯାହା ସେନ୍ସିଙ୍ଗ୍ ପଦାର୍ଥର ଖୋଲା ଆକାର ଉପରେ ନିର୍ଭର କରେ |ସାକାଇ ଇତ୍ୟାଦି |92 ଫ୍ଲୁ ଗ୍ୟାସ ପ୍ରତି ସେନସର ସମ୍ବେଦନଶୀଳତାକୁ ମଡେଲ କରିଥିଲା ​​ଏବଂ ଜାଣିବାକୁ ପାଇଲା ଯେ ଗ୍ୟାସର ଉଭୟ ମଲିକୁଲାର ଓଜନ ଏବଂ ସେନସର ମେମ୍ବ୍ରାନ୍ର ପୋର ବ୍ୟାଡ୍ୟୁସ୍ ସେନ୍ସର ମେମ୍ବ୍ରାନ୍ର ବିଭିନ୍ନ ଗ୍ୟାସ୍ ବିସ୍ତାର ଗଭୀରତାରେ ସେନ୍ସର ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା ଉପରେ ପ୍ରଭାବ ପକାଇଥାଏ |ଉପରୋକ୍ତ ଆଲୋଚନା ଦର୍ଶାଏ ଯେ ରିସେପ୍ଟର ଫଙ୍କସନ୍, ଟ୍ରାନ୍ସଡୁସର ଫଙ୍କସନ୍ ଏବଂ ୟୁଟିଲିଟି ସନ୍ତୁଳନ ଏବଂ ଅପ୍ଟିମାଇଜ୍ କରି ଉଚ୍ଚ କ୍ଷମତା ସମ୍ପନ୍ନ ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସର ବିକାଶ କରାଯାଇପାରିବ |
ଉପରୋକ୍ତ କାର୍ଯ୍ୟଟି ଗୋଟିଏ MOS ର ମ basic ଳିକ ଧାରଣା ପ୍ରଣାଳୀକୁ ସ୍ପଷ୍ଟ କରେ ଏବଂ MOS ର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଉପରେ ପ୍ରଭାବ ପକାଉଥିବା ଅନେକ କାରଣ ଉପରେ ଆଲୋଚନା କରିଥାଏ |ଏହି କାରଣଗୁଡିକ ସହିତ, ହେଟେରୋଷ୍ଟ୍ରକଚର ଉପରେ ଆଧାରିତ ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସରଗୁଡ଼ିକ ସେନ୍ସର ଏବଂ ରିସେପ୍ଟର କାର୍ଯ୍ୟକୁ ଯଥେଷ୍ଟ ଉନ୍ନତ କରି ସେନ୍ସର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାକୁ ଆହୁରି ଉନ୍ନତ କରିପାରିବ |ଏହା ସହିତ, ହେଟେରୋନାନଷ୍ଟ୍ରକଚରଗୁଡିକ କାଟାଲାଇଟିକ୍ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାକୁ ବ, ାଇ, ଚାର୍ଜ ସ୍ଥାନାନ୍ତରଣକୁ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରି ଏବଂ ଅଧିକ ଆଡସର୍ପସନ୍ ସାଇଟ୍ ସୃଷ୍ଟି କରି ସେନ୍ସର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାକୁ ଆହୁରି ଉନ୍ନତ କରିପାରିବ |ଆଜି ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ, MOS heteronanostructures ଉପରେ ଆଧାରିତ ଅନେକ ଗ୍ୟାସ ସେନସରଗୁଡ଼ିକ ଉନ୍ନତ ସେନ୍ସିଙ୍ଗ୍ 95,96,97 ପାଇଁ କ mechan ଶଳ ଉପରେ ଆଲୋଚନା ପାଇଁ ଅଧ୍ୟୟନ କରାଯାଇଛି |ମିଲର୍ ଏବଂ ଅନ୍ୟମାନେ |55 ଅନେକ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ସଂକ୍ଷେପରେ ସଂକ୍ଷିପ୍ତ ହୋଇଛି ଯାହା ହେଟେରୋନାନଷ୍ଟ୍ରକଚରର ସମ୍ବେଦନଶୀଳତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିବାର ସମ୍ଭାବନା ଅଛି, ଭୂପୃଷ୍ଠ-ନିର୍ଭରଶୀଳ, ଇଣ୍ଟରଫେସ୍-ନିର୍ଭରଶୀଳ ଏବଂ ସଂରଚନା-ନିର୍ଭରଶୀଳ |ସେଥିମଧ୍ୟରୁ, ଇଣ୍ଟରଫେସ୍-ନିର୍ଭରଶୀଳ ଆମ୍ପ୍ଲାଇଫେସନ୍ ମେକାନିଜିମ୍ ଏକ ସିଦ୍ଧାନ୍ତରେ ସମସ୍ତ ଇଣ୍ଟରଫେସ୍ ପାରସ୍ପରିକ କ୍ରିୟାକୁ ଆବୃତ୍ତି କରିବା ପାଇଁ ଅତ୍ୟନ୍ତ ଜଟିଳ, ଯେହେତୁ ହେଟେରୋନାନଷ୍ଟ୍ରକଚର ସାମଗ୍ରୀ ଉପରେ ଆଧାରିତ ବିଭିନ୍ନ ସେନ୍ସର (ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, nn-heterojunction, pn-heterojunction, pp-heterojunction, ଇତ୍ୟାଦି) ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରିବ | ।ସ୍କଟ୍କି ଗଣ୍ଠି) |ସାଧାରଣତ ,, MOS- ଆଧାରିତ ହେଟେରୋନାନଷ୍ଟ୍ରକଚର୍ ସେନ୍ସରଗୁଡ଼ିକ ସର୍ବଦା ଦୁଇଟି କିମ୍ବା ଅଧିକ ଉନ୍ନତ ସେନ୍ସର ଯନ୍ତ୍ରକ 98 ଶଳ ଅନ୍ତର୍ଭୂକ୍ତ କରେ 98,99,100 |ଏହି ବିସ୍ତାରଣ କ s ଶଳଗୁଡ଼ିକର ସିନର୍ଜିଷ୍ଟିକ୍ ପ୍ରଭାବ ସେନ୍ସର ସଙ୍କେତଗୁଡ଼ିକର ଗ୍ରହଣ ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣକୁ ବ enhance ାଇପାରେ |ତେଣୁ, ଗବେଷକମାନଙ୍କୁ ସେମାନଙ୍କର ଆବଶ୍ୟକତା ଅନୁଯାୟୀ ନିମ୍ନ-ଗ୍ୟାସ୍ ସେନସର୍ ବିକଶିତ କରିବାରେ ସାହାଯ୍ୟ କରିବା ପାଇଁ ହେଟେରୋଜେନସ୍ ନାନୋଷ୍ଟ୍ରକ୍ଟ୍ରଡ୍ ସାମଗ୍ରୀ ଉପରେ ଆଧାରିତ ସେନସରର ଧାରଣାକୁ ବୁ understanding ିବା ଅତ୍ୟନ୍ତ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ |ଏହା ସହିତ, ଉପକରଣର ଜ୍ୟାମିତିକ ସଂରଚନା ମଧ୍ୟ ସେନ୍ସର 74, 75, 76 ର ସମ୍ବେଦନଶୀଳତାକୁ ଯଥେଷ୍ଟ ପ୍ରଭାବିତ କରିଥାଏ | ଏବଂ ନିମ୍ନରେ ଆଲୋଚନା କରାଯାଇଛି |
MOS ଆଧାରିତ ଗ୍ୟାସ ସେନସରର ଦ୍ରୁତ ବିକାଶ ସହିତ ବିଭିନ୍ନ ହେଟେରୋ-ନାନୋଷ୍ଟ୍ରକଚର MOS ପାଇଁ ପ୍ରସ୍ତାବ ଦିଆଯାଇଛି |ହେଟେରୋଏଣ୍ଟର୍ଫେସରେ ଚାର୍ଜ ସ୍ଥାନାନ୍ତର ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ବିଭିନ୍ନ ଫର୍ମୀ ସ୍ତର (Ef) ଉପରେ ନିର୍ଭର କରେ |ହେଟେରୋଏଣ୍ଟର୍ଫେସରେ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ଗୁଡିକ ଗୋଟିଏ ପାର୍ଶ୍ୱରୁ ଏକ ବଡ଼ ଇଫ୍ ସହିତ ଅନ୍ୟ ପାର୍ଶ୍ୱକୁ ଏକ ଛୋଟ ଇଫ୍ ସହିତ ଗତି କରନ୍ତି ଯେପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ସେମାନଙ୍କର ଫର୍ମୀ ସ୍ତର ସନ୍ତୁଳନରେ ପହଞ୍ଚେ, ଏବଂ ବିପରୀତରେ ଛିଦ୍ରଗୁଡିକ |ତା’ପରେ ହେଟେରୋଏଣ୍ଟର୍ଫେସରେ ଥିବା ବାହକଗୁଡ଼ିକ ହ୍ରାସ ହୋଇ ଏକ ହ୍ରାସ ସ୍ତର ଗଠନ କରନ୍ତି |ଥରେ ସେନ୍ସର ଟାର୍ଗେଟ ଗ୍ୟାସର ସଂସ୍ପର୍ଶରେ ଆସିବା ପରେ ହେଟେରୋନାନଷ୍ଟ୍ରକଚର MOS ବାହକ ଏକାଗ୍ରତା ପରିବର୍ତ୍ତନ ହୁଏ, ଯେପରି ପ୍ରତିବନ୍ଧକ ଉଚ୍ଚତା, ଚିହ୍ନଟ ଚିହ୍ନକୁ ବ ancing ାଇଥାଏ |ଏଥିସହ, ହେଟେରୋନାନଷ୍ଟ୍ରକଚର ଗଠନ କରିବାର ବିଭିନ୍ନ ପଦ୍ଧତି ସାମଗ୍ରୀ ଏବଂ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ ମଧ୍ୟରେ ଭିନ୍ନ ସମ୍ପର୍କକୁ ନେଇଥାଏ, ଯାହା ବିଭିନ୍ନ ଡିଭାଇସ୍ ଜ୍ୟାମିତି ଏବଂ ବିଭିନ୍ନ ସେନ୍ସିଙ୍ଗ୍ ମେକାନିଜିମ୍ କୁ ନେଇଥାଏ |ଏହି ସମୀକ୍ଷାରେ, ଆମେ ତିନୋଟି ଜ୍ୟାମିତିକ ଉପକରଣ ସଂରଚନା ପ୍ରସ୍ତାବ ଦେଉ ଏବଂ ପ୍ରତ୍ୟେକ ଗଠନ ପାଇଁ ସେନ୍ସିଂ ମେକାନିଜିମ୍ ବିଷୟରେ ଆଲୋଚନା କରୁ |
ଯଦିଓ ଗ୍ୟାସ୍ ଚିହ୍ନଟ କାର୍ଯ୍ୟରେ ହେଟେରୋଜୁକନ୍ସ ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଭୂମିକା ଗ୍ରହଣ କରିଥାଏ, ସମଗ୍ର ସେନ୍ସରର ଡିଭାଇସ୍ ଜ୍ୟାମିତି ମଧ୍ୟ ଚିହ୍ନଟ ଆଚରଣକୁ ଯଥେଷ୍ଟ ପ୍ରଭାବିତ କରିଥାଏ, ଯେହେତୁ ସେନ୍ସର କଣ୍ଡକ୍ଟ ଚ୍ୟାନେଲର ଅବସ୍ଥାନ ଡିଭାଇସ୍ ଜ୍ୟାମିତି ଉପରେ ଅତ୍ୟଧିକ ନିର୍ଭରଶୀଳ |ଚିତ୍ର 2 ରେ ଦେଖାଯାଇଥିବା ପରି ହେଟେରୋଜଙ୍କସନ୍ MOS ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକର ତିନୋଟି ସାଧାରଣ ଜ୍ୟାମିତିକୁ ଏଠାରେ ଆଲୋଚନା କରାଯାଇଛି, ପ୍ରଥମ ପ୍ରକାରରେ, ଦୁଇଟି MOS ସଂଯୋଗ ଦୁଇଟି ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ ମଧ୍ୟରେ ଅନିୟମିତ ଭାବରେ ବଣ୍ଟନ ହୁଏ, ଏବଂ କଣ୍ଡକ୍ଟିଭ୍ ଚ୍ୟାନେଲର ଅବସ୍ଥାନ ମୁଖ୍ୟ MOS ଦ୍ determined ାରା ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରାଯାଏ, ଦ୍ୱିତୀୟଟି ହେଉଛି ଦ୍ୱିତୀୟ | ବିଭିନ୍ନ MOS ରୁ ହେଟେରୋଜିନସ୍ ନାନୋଷ୍ଟ୍ରକଚର ଗଠନ, ଯେତେବେଳେ କେବଳ ଗୋଟିଏ MOS ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ ସହିତ ସଂଯୁକ୍ତ |ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ ସଂଯୁକ୍ତ, ତା’ପରେ କଣ୍ଡକ୍ଟିଭ୍ ଚ୍ୟାନେଲ୍ ସାଧାରଣତ M MOS ଭିତରେ ଅବସ୍ଥିତ ଏବଂ ସିଧାସଳଖ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ ସହିତ ସଂଯୁକ୍ତ |ତୃତୀୟ ପ୍ରକାରରେ, ଦୁଇଟି ସାମଗ୍ରୀ ଦୁଇଟି ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ ସହିତ ପୃଥକ ଭାବରେ ସଂଲଗ୍ନ ହୋଇ, ଦୁଇଟି ସାମଗ୍ରୀ ମଧ୍ୟରେ ଗଠିତ ହେଟେରୋଜେକ୍ସନ୍ ମାଧ୍ୟମରେ ଉପକରଣକୁ ମାର୍ଗଦର୍ଶନ କରେ |
ଯ ounds ଗିକ ମଧ୍ୟରେ ଏକ ହାଇଫେନ୍ (ଯଥା “SnO2-NiO”) ସୂଚିତ କରେ ଯେ ଦୁଇଟି ଉପାଦାନ କେବଳ ମିଶ୍ରିତ (I ପ୍ରକାର) |ଦୁଇଟି ସଂଯୋଗ ମଧ୍ୟରେ ଏକ “@” ଚିହ୍ନ (ଯଥା “SnO2 @ NiO”) ସୂଚାଇଥାଏ ଯେ ସ୍କାଫୋଲ୍ଡ ସାମଗ୍ରୀ (NiO) ଏକ ପ୍ରକାର II ସେନ୍ସର ଗଠନ ପାଇଁ SnO2 ସହିତ ସଜାଯାଇଛି |ଏକ ସ୍ଲାସ୍ (ଯଥା “NiO / SnO2”) ଏକ ପ୍ରକାର III ସେନ୍ସର ଡିଜାଇନ୍ କୁ ସୂଚିତ କରେ |
MOS କମ୍ପୋଜିଟ୍ ଉପରେ ଆଧାରିତ ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସର ପାଇଁ, ଦୁଇଟି MOS ଉପାଦାନ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ ମଧ୍ୟରେ ଅନିୟମିତ ଭାବରେ ବଣ୍ଟନ ହୁଏ |ସୋଲ୍-ଜେଲ୍, କପ୍ରେସିପିଟେସନ୍, ହାଇଡ୍ରୋଥର୍ମାଲ୍, ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋସ୍ପାଇନିଂ ଏବଂ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ମିଶ୍ରଣ ପ୍ରଣାଳୀ 98,102,103,104 ସହିତ MOS କମ୍ପୋଜିଟ୍ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରିବାକୁ ଅନେକ ଗଠନ ପଦ୍ଧତି ପ୍ରସ୍ତୁତ କରାଯାଇଛି |ସମ୍ପ୍ରତି, ଧାତୁ-ଜ organic ବ framework ାଞ୍ଚା (MOFs), ଧାତୁ କେନ୍ଦ୍ର ଏବଂ ଜ organic ବ ଲିଙ୍କର୍ ଦ୍ୱାରା ଗଠିତ ପୋରସ୍ ସ୍ଫଟିକ୍ ସଂରଚନା ସାମଗ୍ରୀର ଏକ ଶ୍ରେଣୀ, ଖୋଲା MOS କମ୍ପୋଜିଟ୍ ତିଆରି ପାଇଁ ଟେମ୍ପଲେଟ୍ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୋଇଛି 105,106,107,108 |ସୂଚନାଯୋଗ୍ୟ ଯେ ଯଦିଓ MOS କମ୍ପୋଜିଟ୍ସର ଶତକଡ଼ା ସମାନ, ବିଭିନ୍ନ ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ବ୍ୟବହାର କରିବା ସମୟରେ ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା ବ characteristics ଶିଷ୍ଟ୍ୟ ବହୁତ ଭିନ୍ନ ହୋଇପାରେ | 109,110 ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, Gao et al.109 ସମାନ ପରମାଣୁ ଅନୁପାତ ସହିତ MoO3 ± SnO2 କମ୍ପୋଜିଟ୍ ଉପରେ ଆଧାର କରି ଦୁଇଟି ସେନ୍ସର ଗଠନ କରିଥିଲେ | (ମୋ: Sn = 1: 1.9) ଏବଂ ଜାଣିବାକୁ ପାଇଲେ ଯେ ବିଭିନ୍ନ ଗଠନ ପଦ୍ଧତି ବିଭିନ୍ନ ସମ୍ବେଦନଶୀଳତାକୁ ନେଇଥାଏ |ଶାପୋଶନିକ୍ ଏବଂ ଅନ୍ୟମାନେ |110 ରିପୋର୍ଟ କରିଛି ଯେ ଗ୍ୟାସୀୟ H2 ରେ ସହ-ନିର୍ଗତ SnO2-TiO2 ର ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଯାନ୍ତ୍ରିକ ମିଶ୍ରିତ ସାମଗ୍ରୀଠାରୁ ଭିନ୍ନ, ଏପରିକି ସମାନ Sn / Ti ଅନୁପାତରେ |ଏହି ପାର୍ଥକ୍ୟ ଉପୁଜେ କାରଣ MOP ଏବଂ MOP ସ୍ଫଟିକ୍ ଆକାର ମଧ୍ୟରେ ସମ୍ପର୍କ ବିଭିନ୍ନ ସିନ୍ଥେସିସ୍ ପଦ୍ଧତି ସହିତ ଭିନ୍ନ ହୋଇଥାଏ 109,110 |ଯେତେବେଳେ ଦାତା ସାନ୍ଧ୍ରତା ଏବଂ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ପ୍ରକାର ଅନୁଯାୟୀ ଶସ୍ୟର ଆକାର ଏବଂ ଆକୃତି ସ୍ଥିର ଥାଏ, ଯଦି ସମ୍ପର୍କ ଜ୍ୟାମିତି 110 ପରିବର୍ତ୍ତନ ନହୁଏ ତେବେ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ସମାନ ରହିବା ଉଚିତ |ଷ୍ଟେର୍ଜ୍ ଏବଂ ଅନ୍ୟମାନେ |111 ରିପୋର୍ଟ କରିଛି ଯେ SnO2-Cr2O3 କୋର-ସିଟ୍ (CSN) ନାନୋଫାଇବର ଏବଂ ଗ୍ରାଉଣ୍ଡ SnO2-Cr2O3 CSN ଗୁଡ଼ିକର ଚିହ୍ନଟ ବ characteristics ଶିଷ୍ଟ୍ୟ ପ୍ରାୟ ସମାନ, ନାନୋଫାଇବର ମର୍ଫୋଲୋଜି କ advantage ଣସି ସୁବିଧା ପ୍ରଦାନ କରେ ନାହିଁ |
ବିଭିନ୍ନ ଗଠନ ପଦ୍ଧତି ସହିତ, ଦୁଇଟି ଭିନ୍ନ MOSFET ର ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ପ୍ରକାର ମଧ୍ୟ ସେନସର ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା ଉପରେ ପ୍ରଭାବ ପକାଇଥାଏ |ଦୁଇଟି MOSFET ସମାନ ପ୍ରକାରର ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର (nn କିମ୍ବା pp ଜଙ୍କସନ) କିମ୍ବା ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରକାରର (pn ଜଙ୍କସନ) ଉପରେ ନିର୍ଭର କରି ଏହାକୁ ଆହୁରି ଦୁଇଟି ଶ୍ରେଣୀରେ ବିଭକ୍ତ କରାଯାଇପାରେ |ଯେତେବେଳେ ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସର ସମାନ ପ୍ରକାରର MOS କମ୍ପୋଜିଟ୍ ଉପରେ ଆଧାରିତ, ଦୁଇଟି MOS ର ମୋଲାର ଅନୁପାତ ପରିବର୍ତ୍ତନ କରି, ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଚରିତ୍ର ଅପରିବର୍ତ୍ତିତ ରହିଥାଏ, ଏବଂ nn- କିମ୍ବା pp-heterojunctions ସଂଖ୍ୟା ଉପରେ ନିର୍ଭର କରି ସେନ୍ସର ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା ଭିନ୍ନ ହୋଇଥାଏ |ଯେତେବେଳେ ଗୋଟିଏ ଉପାଦାନ ଯ os ଗିକରେ ପ୍ରାଧାନ୍ୟ ଦେଇଥାଏ (ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ 0.9 ZnO-0.1 SnO2 କିମ୍ବା 0.1 ZnO-0.9 SnO2), କଣ୍ଡକ୍ଟେସନ୍ ଚ୍ୟାନେଲ୍ ପ୍ରାଧାନ୍ୟ MOS ଦ୍ determined ାରା ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରାଯାଏ, ଯାହାକୁ ହୋମୋଜଙ୍କସନ୍ କଣ୍ଡକ୍ଟ ଚ୍ୟାନେଲ୍ 92 କୁହାଯାଏ |ଯେତେବେଳେ ଦୁଇଟି ଉପାଦାନର ଅନୁପାତ ତୁଳନାତ୍ମକ ହୁଏ, ଏହା ଅନୁମାନ କରାଯାଏ ଯେ କଣ୍ଡକ୍ଟ ଚ୍ୟାନେଲ ହେଟେରୋଜକସନ 98,102 ଦ୍ୱାରା ପରିଚାଳିତ |ୟାମାଜୋ ଏବଂ ଅନ୍ୟମାନେ |112,113 ରିପୋର୍ଟ କରିଛି ଯେ ଦୁଇଟି ଉପାଦାନର ହେଟେରୋକଣ୍ଟାକ୍ଟ ଅଞ୍ଚଳ ସେନସର ସମ୍ବେଦନଶୀଳତାକୁ ବହୁଗୁଣିତ କରିପାରିବ କାରଣ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ବିଭିନ୍ନ ଅପରେଟିଂ ଫଙ୍କସନ୍ କାରଣରୁ ସୃଷ୍ଟି ହୋଇଥିବା ହେଟେରୋଜଙ୍କସନ୍ ପ୍ରତିବନ୍ଧକ ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ଦ୍ୱାରା ସଂସ୍ପର୍ଶରେ ଆସିଥିବା ସେନ୍ସର ଡ୍ରାଇଫ୍ ଗତିଶୀଳତାକୁ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରିପାରିବ |ବିଭିନ୍ନ ପରିବେଶ ଗ୍ୟାସ୍ 112,113 |ଡିମ୍ବିରି ଉପରେଚିତ୍ର 3a ଦର୍ଶାଏ ଯେ SnO2-ZnO ଫାଇବ୍ରସ୍ ହାଇରାର୍କିକାଲ୍ ସଂରଚନା ଉପରେ ଆଧାରିତ ସେନ୍ସରଗୁଡ଼ିକ ବିଭିନ୍ନ ZnO ବିଷୟବସ୍ତୁ ସହିତ (0 ରୁ 10 mol% Zn) ଚୟନକରି ଇଥାନଲ୍ ଚିହ୍ନଟ କରିପାରିବ |ସେଥିମଧ୍ୟରୁ, SnO2-ZnO ଫାଇବର (7 mol।% Zn) ଉପରେ ଆଧାରିତ ଏକ ସେନ୍ସର ସର୍ବାଧିକ ସଂଖ୍ୟକ ହେଟେରୋଜେକ୍ସନ୍ ଗଠନ ଏବଂ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ପୃଷ୍ଠଭୂମିରେ ବୃଦ୍ଧି ହେତୁ ସର୍ବାଧିକ ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା ଦେଖାଇଲା, ଯାହା କନଭର୍ଟରର କାର୍ଯ୍ୟକୁ ବ and ାଇଲା ଏବଂ ଉନ୍ନତ କଲା | ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା 90 ତଥାପି, ZnO ବିଷୟବସ୍ତୁରେ 10 mol।% କୁ ବୃଦ୍ଧି ସହିତ, ମାଇକ୍ରୋସ୍ଟ୍ରଷ୍ଟ୍ରକଚର SnO2-ZnO କମ୍ପୋଜିଟ୍ ଭୂପୃଷ୍ଠ ସକ୍ରିୟତା କ୍ଷେତ୍ରକୁ ଗୁଡ଼ାଇ ସେନ୍ସର ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା ହ୍ରାସ କରିପାରିବ 85 |ବିଭିନ୍ନ Fe / Ni ଅନୁପାତ (ଚିତ୍ର 3 ବି) 114 ସହିତ NiO-NiFe2O4 pp heterojunction କମ୍ପୋଜିଟ୍ ଉପରେ ଆଧାରିତ ସେନ୍ସର ପାଇଁ ମଧ୍ୟ ସମାନ ଧାରା ପରିଲକ୍ଷିତ ହୁଏ |
SnO2-ZnO ଫାଇବରର SEM ପ୍ରତିଛବିଗୁଡିକ (7 mol।% Zn) ଏବଂ 260 ° C ରେ 100 ppm ଏକାଗ୍ରତା ସହିତ ବିଭିନ୍ନ ଗ୍ୟାସରେ ସେନ୍ସର ପ୍ରତିକ୍ରିୟା;54b ବିଭିନ୍ନ ଗ୍ୟାସର 50 ppm ରେ ଶୁଦ୍ଧ NiO ଏବଂ NiO-NiFe2O4 କମ୍ପୋଜିଟ୍ ଉପରେ ଆଧାରିତ ସେନ୍ସରର ପ୍ରତିକ୍ରିୟା, 260 ° C;114 (ଗ) xSnO2- (1-x) Co3O4 ରଚନାରେ ନୋଡ ସଂଖ୍ୟାଗୁଡ଼ିକର ସ୍କିଜେଟିକ୍ ଚିତ୍ର ଏବଂ 10 ppm CO, acetone, C6H6 ଏବଂ SO2 ପ୍ରତି xSnO2- (1-x) Co3O4 ରଚନା ଏବଂ ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା | Sn / Co 98 ର ମୋଲାର ଅନୁପାତ ପରିବର୍ତ୍ତନ କରି 350 ° C ରେ ଗ୍ୟାସ୍ |
Pn-MOS କମ୍ପୋଜିଟ୍ MOS115 ର ପରମାଣୁ ଅନୁପାତ ଉପରେ ନିର୍ଭର କରି ଭିନ୍ନ ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ଆଚରଣ ଦେଖାଏ |ସାଧାରଣତ ,, MOS କମ୍ପୋଜିଟ୍ସର ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ଆଚରଣ ଅତ୍ୟଧିକ ନିର୍ଭରଶୀଳ ଯାହା ଉପରେ MOS ସେନ୍ସର ପାଇଁ ପ୍ରାଥମିକ ଚାଳନା ଚ୍ୟାନେଲ ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ |ତେଣୁ, କମ୍ପୋଜିଟ୍ସର ଶତକଡ଼ା ରଚନା ଏବଂ ନାନୋଷ୍ଟ୍ରକଚରକୁ ବର୍ଣ୍ଣିତ କରିବା ଅତ୍ୟନ୍ତ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ |ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋସ୍ପାଇନିଂ ଏବଂ ସେମାନଙ୍କର ସେନସର ଗୁଣଗୁଡିକ ଅଧ୍ୟୟନ କରି xSnO2 ± (1-x) Co3O4 କମ୍ପୋଜିଟ୍ ନାନୋଫାଇବରଗୁଡିକର ଏକ ସିରିଜ୍ ସିନ୍ଥାଇଜ୍ କରି କିମ୍ ଏଟ୍ .98 ଏହି ସିଦ୍ଧାନ୍ତକୁ ନିଶ୍ଚିତ କଲେ |ସେମାନେ ଦେଖିଲେ ଯେ SnO2-Co3O4 କମ୍ପୋଜିଟ୍ ସେନସର ଆଚରଣ SnO2 (ଚିତ୍ର 3c) 98 ର ଶତକଡା ହ୍ରାସ କରି n- ପ୍ରକାରରୁ p- ପ୍ରକାରକୁ ବଦଳିଗଲା |ଏହା ସହିତ, ହେଟେରୋଜଙ୍କସନ୍-ପ୍ରାଧାନ୍ୟ ସେନ୍ସରଗୁଡିକ (0.5 SnO2-0.5 Co3O4 ଉପରେ ଆଧାର କରି) ହୋମୋଜଙ୍କସନ୍-ପ୍ରାଧାନ୍ୟ ସେନ୍ସର ତୁଳନାରେ C6H6 ପାଇଁ ସର୍ବାଧିକ ଟ୍ରାନ୍ସମିସନ୍ ହାର ଦେଖାଇଲା (ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ଉଚ୍ଚ SnO2 କିମ୍ବା Co3O4 ସେନ୍ସର) |Sn। Sn SnO2-0.5 Co3O4 ଆଧାରିତ ସେନସର ଅନ୍ତର୍ନିହିତ ଉଚ୍ଚ ପ୍ରତିରୋଧ ଏବଂ ସାମଗ୍ରିକ ସେନ୍ସର ପ୍ରତିରୋଧକୁ ମଡ୍ୟୁଲେଟ୍ କରିବାର ଏହାର ଅଧିକ କ୍ଷମତା C6H6 ପ୍ରତି ସର୍ବୋଚ୍ଚ ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା ପାଇଁ ସହାୟକ ହୋଇଥାଏ |ଏହା ସହିତ, SnO2-Co3O4 heterointerfaces ରୁ ଉତ୍ପନ୍ନ ଲାଟାଇସ୍ ମେଳ ଖାଉଥିବା ତ୍ରୁଟି ଗ୍ୟାସ୍ ଅଣୁଗୁଡ଼ିକ ପାଇଁ ଅଗ୍ରାଧିକାର ଆଡର୍ସପସନ୍ ସାଇଟ୍ ସୃଷ୍ଟି କରିପାରିବ, ଯାହାଦ୍ୱାରା ସେନ୍ସର ପ୍ରତିକ୍ରିୟା 109, 116 କୁ ବ ancing ାଇବ |
ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର-ପ୍ରକାର MOS ସହିତ, MOS-117 ରସାୟନ ବିଜ୍ଞାନ ବ୍ୟବହାର କରି MOS କମ୍ପୋଜିଟ୍ସର ସ୍ପର୍ଶ ଆଚରଣ ମଧ୍ୟ କଷ୍ଟମାଇଜ୍ ହୋଇପାରିବ |Co3O4-SnO2 କମ୍ପୋଜିଟ୍ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରିବା ପାଇଁ Huo et al.117 ଏକ ସରଳ ସୋକ୍-ବେକ୍ ପଦ୍ଧତି ବ୍ୟବହାର କରି ଦେଖିଲେ ଯେ 10% ର Co / Sn ମୋଲାର ଅନୁପାତରେ, ସେନ୍ସର H2 କୁ p- ପ୍ରକାର ଚିହ୍ନଟ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଏବଂ ଏକ n- ପ୍ରକାରର ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା ପ୍ରଦର୍ଶନ କରିଛି | H2ପ୍ରତିକ୍ରିୟାCO, H2S ଏବଂ NH3 ଗ୍ୟାସ୍ ଉପରେ ସେନ୍ସର ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଚିତ୍ର 4a117 ରେ ଦର୍ଶାଯାଇଛି |କମ୍ Co / Sn ଅନୁପାତରେ, SnO2 ± SnO2 ନାନୋଗ୍ରାଏନ୍ ସୀମାରେ ଅନେକ ହୋମୋଜେକ୍ସନ୍ ଗଠନ ହୁଏ ଏବଂ H2 (ଚିତ୍ର 4b, c) 115 କୁ n- ପ୍ରକାରର ସେନ୍ସର ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ପ୍ରଦର୍ଶନ କରେ |Co / Sn ଅନୁପାତରେ 10 mol ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ବୃଦ୍ଧି ସହିତ |%, SnO2-SnO2 homojunctions ପରିବର୍ତ୍ତେ, ଅନେକ Co3O4-SnO2 heterojunctions ଏକକାଳୀନ ଗଠନ ହେଲା (ଚିତ୍ର 4d) |ଯେହେତୁ Co3O4 H2 ସହିତ ନିଷ୍କ୍ରିୟ, ଏବଂ SnO2 H2 ସହିତ ଦୃ strongly ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରେ, ଆୟନିକ ଅମ୍ଳଜାନ ପ୍ରଜାତି ସହିତ H2 ର ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ମୁଖ୍ୟତ Sn SnO2117 ପୃଷ୍ଠରେ ଘଟିଥାଏ |ତେଣୁ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ଗୁଡିକ SnO2 ଏବଂ Ef SnO2 କୁ କଣ୍ଡକ୍ଟେସନ୍ ବ୍ୟାଣ୍ଡକୁ ସ୍ଥାନାନ୍ତରିତ ହୋଇଥିବାବେଳେ Ef Co3O4 ଅପରିବର୍ତ୍ତିତ ରହିଛି |ଫଳସ୍ୱରୂପ, ସେନ୍ସର ପ୍ରତିରୋଧ ବ increases ିଥାଏ, ସୂଚାଇଥାଏ ଯେ ଉଚ୍ଚ କୋ / ସ୍ନ ଅନୁପାତ ଥିବା ସାମଗ୍ରୀଗୁଡ଼ିକ p- ପ୍ରକାର ସେନ୍ସିଙ୍ଗ ଆଚରଣ ପ୍ରଦର୍ଶନ କରିଥାଏ (ଚିତ୍ର 4e) |ଏହାର ବିପରୀତରେ, CO, H2S, ଏବଂ NH3 ଗ୍ୟାସ୍ SnO2 ଏବଂ Co3O4 ପୃଷ୍ଠରେ ଆୟନିକ୍ ଅମ୍ଳଜାନ ପ୍ରଜାତି ସହିତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରନ୍ତି, ଏବଂ ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ରୁ ସେନ୍ସରକୁ ଯାଆନ୍ତି, ଫଳସ୍ୱରୂପ ପ୍ରତିବନ୍ଧକ ଉଚ୍ଚତା ଏବଂ n ପ୍ରକାରର ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା କମିଯାଏ (ଚିତ୍ର 4f) |।ଏହି ଭିନ୍ନ ସେନ୍ସର ଆଚରଣ ବିଭିନ୍ନ ଗ୍ୟାସ୍ ସହିତ Co3O4 ର ଭିନ୍ନ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳତା ହେତୁ ଘଟିଥାଏ, ଯାହାକି ୟିନ ଏଟ୍ ଦ୍ୱାରା ଅଧିକ ପ୍ରମାଣିତ ହୋଇଥିଲା |118ସେହିପରି, କାଟୋଚ୍ ଏବଂ ଅନ୍ୟମାନେ |119 ଦର୍ଶାଇଲା ଯେ SnO2-ZnO କମ୍ପୋଜିଟ୍ ଗୁଡିକରେ H2 ପ୍ରତି ଭଲ ଚୟନକର୍ତ୍ତା ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା ଅଛି |ଏହି ଆଚରଣ ହୁଏ କାରଣ H ର ପରମାଣୁ ଏବଂ O ର p- କକ୍ଷପଥ ମଧ୍ୟରେ ଦୃ strong ହାଇବ୍ରିଡାଇଜେସନ୍ ହେତୁ H ପରମାଣୁ ZnO ର O ସ୍ଥିତିକୁ ସହଜରେ ଆଡର୍ସଡ୍ ହୋଇପାରେ, ଯାହା ZnO120,121 ର ଧାତୁକରଣକୁ ନେଇଥାଏ |
ସାଧାରଣ ହ୍ରାସ କରୁଥିବା ଗ୍ୟାସ୍ ଯେପରିକି H2, CO, NH3 ଏବଂ H2S, b, c Co3O4 / SnO2 କମ୍ପୋଜିଟ୍ ସେନ୍ସିଂ ମେକାନିଜିମ୍ ଚିତ୍ର ପାଇଁ କମ୍% m ରେ ଏକ Co / Sn-10% ଗତିଶୀଳ ପ୍ରତିରୋଧ ବକ୍ର |Co / Sn, df Co3O4 ଏକ ଉଚ୍ଚ Co / Sn / SnO2 ଯ os ଗିକ ସହିତ H2 ଏବଂ CO, H2S ଏବଂ NH3 ର ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଚିହ୍ନଟ |
ତେଣୁ, ଆମେ ଉପଯୁକ୍ତ ଗଠନ ପଦ୍ଧତି ବାଛିବା, ଯ os ଗିକର ଶସ୍ୟ ଆକାର ହ୍ରାସ କରିବା ଏବଂ MOS କମ୍ପୋଜିଟ୍ସର ମୋଲାର ଅନୁପାତକୁ ଅପ୍ଟିମାଇଜ୍ କରି I ପ୍ରକାରର ସେନ୍ସର ସମ୍ବେଦନଶୀଳତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିପାରିବା |ଏହା ସହିତ, ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ପଦାର୍ଥର ରସାୟନ ବିଜ୍ଞାନ ବିଷୟରେ ଏକ ଗଭୀର ବୁ understanding ାମଣା ସେନ୍ସର ଚୟନକର୍ତ୍ତାତାକୁ ଆହୁରି ବ enhance ାଇପାରେ |
ଟାଇପ୍ II ସେନ୍ସର ସଂରଚନା ହେଉଛି ଅନ୍ୟ ଏକ ଲୋକପ୍ରିୟ ସେନ୍ସର ସଂରଚନା ଯାହା ବିଭିନ୍ନ ହେଟେରୋଜିନସ୍ ନାନୋଷ୍ଟ୍ରକଚର୍ଡ୍ ସାମଗ୍ରୀ ବ୍ୟବହାର କରିପାରିବ, ଗୋଟିଏ “ମାଷ୍ଟର” ନାନୋମେଟେରିଆଲ୍ ଏବଂ ଦ୍ୱିତୀୟ କିମ୍ବା ତୃତୀୟ ନାନୋମେଟେରିଆଲ୍ |ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ନାନୋପାର୍ଟିକଲ୍ସ, କୋର୍-ସେଲ୍ (ସିଏସ୍) ଏବଂ ମଲ୍ଟିଲାୟର୍ ହେଟେରୋନାନଷ୍ଟ୍ରକଚର୍ଡ ସାମଗ୍ରୀ ସହିତ ସଜାଯାଇଥିବା ଏକ-ଡାଇମେନ୍ସନାଲ୍ କିମ୍ବା ଦୁଇ-ଡାଇମେନ୍ସନାଲ୍ ସାମଗ୍ରୀ ସାଧାରଣତ type ଟାଇପ୍-୨ ସେନ୍ସର ସଂରଚନାରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ ଏବଂ ନିମ୍ନରେ ବିସ୍ତୃତ ଭାବରେ ଆଲୋଚନା କରାଯିବ |
ପ୍ରଥମ ହେଟେରୋନୋଷ୍ଟ୍ରକଚର ସାମଗ୍ରୀ (ସଜାଯାଇଥିବା ହେଟେରୋନାନଷ୍ଟ୍ରକଚର) ପାଇଁ, ଚିତ୍ର 2b (1) ରେ ଦେଖାଯାଇଥିବା ପରି, ସେନ୍ସରର କଣ୍ଡକ୍ଟିଭ୍ ଚ୍ୟାନେଲଗୁଡିକ ଏକ ମୂଳ ପଦାର୍ଥ ଦ୍ୱାରା ସଂଯୁକ୍ତ |ହେଟେରୋଜୁଙ୍କସନ୍ ଗଠନ ହେତୁ, ପରିବର୍ତ୍ତିତ ନାନୋପାର୍ଟିକଲ୍ସ ଗ୍ୟାସ୍ ଆଡସର୍ପସନ୍ କିମ୍ବା ଡିସର୍ପସନ୍ ପାଇଁ ଅଧିକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ସାଇଟ୍ ପ୍ରଦାନ କରିପାରିବ ଏବଂ ସେନ୍ସିଙ୍ଗ୍ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିବା ପାଇଁ ଅନୁକ୍ରମଣିକା ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରିପାରିବ 109,122,123,124 |Yuan et al.41 ସୂଚାଇ ଦେଇଛନ୍ତି ଯେ CeO2 ନାନୋଡଟ୍ ସହିତ WO3 ନାନୋୱାୟାରକୁ ସଜାଇବା CeO2 @ WO3 ହେଟେରୋଏଣ୍ଟର୍ଫେସ୍ ଏବଂ CeO2 ପୃଷ୍ଠରେ ଅଧିକ ଆଡସର୍ପସନ୍ ସାଇଟ୍ ପ୍ରଦାନ କରିପାରିବ ଏବଂ ଏସିଟୋନ୍ ସହିତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ପାଇଁ ଅଧିକ କେମାଇଜର୍ବେଡ୍ ଅମ୍ଳଜାନ ପ୍ରଜାତି ସୃଷ୍ଟି କରିପାରିବ |ଗୁନାୱାନ୍ ଏବଂ ଅନ୍ୟମାନେ |125. ଏକ-ଡାଇମେନ୍ସନାଲ୍ Au @ Fe-Fe2O3 ଉପରେ ଆଧାରିତ ଏକ ଅଲ୍ଟ୍ରା-ହାଇ ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା ଏସିଟୋନ୍ ସେନ୍ସର ପ୍ରସ୍ତାବ ଦିଆଯାଇଛି ଏବଂ ଏହା ଦେଖାଯାଇଛି ଯେ ଅମ୍ଳଜାନ ଉତ୍ସ ଭାବରେ O2 ଅଣୁଗୁଡ଼ିକର ସକ୍ରିୟତା ଦ୍ୱାରା ସେନସର ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା ନିୟନ୍ତ୍ରିତ |ଆୟୁ NP ର ଉପସ୍ଥିତି, ଏସିଟୋନ୍ର ଅକ୍ସିଡେସନ୍ ପାଇଁ ଅମ୍ଳଜାନ ଅଣୁଗୁଡ଼ିକର ଲାଟାଇସ୍ ଅମ୍ଳଜାନରେ ବିଚ୍ଛେଦକୁ ପ୍ରୋତ୍ସାହିତ କରୁଥିବା ଏକ ଅନୁକ୍ରମଣିକା ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରିପାରିବ |Choi et al ଦ୍ୱାରା ସମାନ ଫଳାଫଳ ମିଳିଥିଲା ​​|9 ଯେଉଁଠାରେ ଏକ Pt କାଟାଲାଇଷ୍ଟର୍ ଆଡ୍ସର୍ବେଡ୍ ଅମ୍ଳଜାନ ଅଣୁଗୁଡ଼ିକୁ ଆୟନାଇଜଡ୍ ଅମ୍ଳଜାନ ପ୍ରଜାତିରେ ପୃଥକ କରିବା ଏବଂ ଏସିଟୋନ୍ ପ୍ରତି ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାକୁ ବ to ାଇବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୋଇଥିଲା |2017 ରେ, ସମାନ ଅନୁସନ୍ଧାନକାରୀ ଦଳ ଦର୍ଶାଇଛନ୍ତି ଯେ ଚିତ୍ର 5126 ରେ ଦେଖାଯାଇଥିବା ପରି ବିମେଟାଲିକ୍ ନାନୋ-ପାର୍ଟିକଲ୍ସ କାଟାଲାଇସିସରେ ଅଧିକ ଦକ୍ଷ, ଚିତ୍ର 5126 ରେ ଦେଖାଯାଇଥିବା ପରି | ହାରାହାରି ଆକାର 3 nm ରୁ କମ୍ |ତାପରେ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋସ୍ପାଇନିଂ ପଦ୍ଧତି ବ୍ୟବହାର କରି, PtM ​​@ WO3 ନାନୋଫାଇବରଗୁଡିକ ଆସେଟୋନ୍ କିମ୍ବା H2S (ଚିତ୍ର 5b - g) ପ୍ରତି ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା ଏବଂ ଚୟନକର୍ତ୍ତା ବୃଦ୍ଧି କରିବାକୁ ପ୍ରାପ୍ତ ହେଲା |ସମ୍ପ୍ରତି, ପରମାଣୁ ଏବଂ ଟ୍ୟୁନ୍ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ସଂରଚନାଗୁଡ଼ିକର ସର୍ବାଧିକ ଦକ୍ଷତା ହେତୁ କାଟାଲାଇସିସ୍ ଏବଂ ଗ୍ୟାସ୍ ବିଶ୍ଳେଷଣ କ୍ଷେତ୍ରରେ ଏକକ ପରମାଣୁ କାଟାଲାଇଷ୍ଟର୍ (SACs) ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଅନୁପାତ ପ୍ରଦର୍ଶନ କରିଛି |ସଚିନ୍ ଏବଂ ଅନ୍ୟମାନେ |129 ଗ୍ୟାସ୍ ଚିହ୍ନଟ ପାଇଁ Pt @ MCN @ SnO2 ଇନଲାଇନ ଫାଇବର ପ୍ରସ୍ତୁତ କରିବା ପାଇଁ ରାସାୟନିକ ଉତ୍ସ ଭାବରେ Pt-SA ଆଙ୍କୋର୍ଡ କାର୍ବନ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ (MCN), SnCl2 ଏବଂ PVP ନାନୋସିଟ୍ ବ୍ୟବହାର କରିଥିଲେ |Pt @ MCN ର ବହୁତ କମ୍ ବିଷୟବସ୍ତୁ ସତ୍ତ୍ (େ (0.13 ୱାଟ। SnO2) |।ଏହି ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଚିହ୍ନଟ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାକୁ Pt SA ଅନୁପାତର ସର୍ବାଧିକ ପରମାଣୁ ଦକ୍ଷତା ଏବଂ SnO2129 ସକ୍ରିୟ ସାଇଟଗୁଡିକର ସର୍ବନିମ୍ନ କଭରେଜ୍ ପାଇଁ ଦାୟୀ କରାଯାଇପାରେ |
PtM-apo (PtPd, PtRh, PtNi) ନାନୋପାର୍ଟିକଲ୍ସ ପାଇବା ପାଇଁ ଆପୋଫେରିଟିନ୍-ଲୋଡ୍ ଏନକାପସୁଲେସନ୍ ପଦ୍ଧତି |bd ପ୍ରିଷ୍ଟାଇନ୍ WO3, PtPd @ WO3, PtRn @ WO3, ଏବଂ Pt-NiO @ WO3 ନାନୋଫାଇବରର ଗତିଶୀଳ ଗ୍ୟାସ୍ ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ଗୁଣ |ଆଧାରିତ, ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, PtPd @ WO3, PtRn @ WO3 ଏବଂ Pt-NiO @ WO3 ନାନୋଫାଇବର ସେନ୍ସରର ଚୟନ ଗୁଣ ଉପରେ ଆଧାର କରି ଗ୍ୟାସ୍ 126
ଏହା ସହିତ, ସ୍କାଫୋଲ୍ଡ ସାମଗ୍ରୀ ଏବଂ ନାନୋ-ପାର୍ଟିକଲ୍ସ ମଧ୍ୟରେ ଗଠିତ ହେଟେରୋଜୁକନ୍ସ ମଧ୍ୟ ସେନ୍ସର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିବା ପାଇଁ ରେଡିଆଲ୍ ମଡ୍ୟୁଲେସନ୍ ମେକାନିଜିମ୍ ମାଧ୍ୟମରେ କଣ୍ଡକ୍ଟ ଚ୍ୟାନେଲଗୁଡ଼ିକୁ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ମଡ୍ୟୁଲେଟ୍ କରିପାରିବ |ଡିମ୍ବିରି ଉପରେଚିତ୍ର 6a ଶୁଦ୍ଧ SnO2 ଏବଂ Cr2O3 @ SnO2 ନାନୋୱାୟାରର ସେନ୍ସର ବ characteristics ଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡିକ ଦର୍ଶାଏ ଏବଂ ଗ୍ୟାସ୍ ହ୍ରାସ କରିବା ଏବଂ ଅକ୍ସିଡାଇଜ୍ କରିବା ପାଇଁ ଏବଂ ସେନ୍ସର ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପ୍ରଣାଳୀ 131 |ଖାଣ୍ଟି SnO2 ନାନୋୱାୟାର ତୁଳନାରେ, ଗ୍ୟାସ୍ ହ୍ରାସ କରିବାରେ Cr2O3 @ SnO2 ନାନୋୱାୟାରର ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ବହୁଗୁଣିତ ହୋଇଛି, ଯେତେବେଳେ ଅକ୍ସିଡାଇଜ୍ ଗ୍ୟାସର ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଅଧିକ ଖରାପ ହୋଇଛି |ଏହି ଘଟଣାଗୁଡ଼ିକ SnO2 ନାନୋୱାୟାରଗୁଡିକର କଣ୍ଡକ୍ଟେସନ୍ ଚ୍ୟାନେଲଗୁଡିକର ସ୍ଥାନୀୟ ହ୍ରାସ ସହିତ ଘନିଷ୍ଠ ଭାବରେ ଜଡିତ pn ହେଟେରୋଜେକ୍ସନ୍ ର ରେଡିଆଲ୍ ଦିଗରେ |ଗ୍ୟାସ ହ୍ରାସ ଏବଂ ଅକ୍ସିଡାଇଜେସନ୍ ସଂସ୍ପର୍ଶରେ ଆସିବା ପରେ ଖାଣ୍ଟି SnO2 ନାନୋୱାୟାର ପୃଷ୍ଠରେ EDL ମୋଟେଇ ପରିବର୍ତ୍ତନ କରି ସେନ୍ସର ପ୍ରତିରୋଧକୁ କେବଳ ଟ୍ୟୁନ୍ କରାଯାଇପାରିବ |ଅବଶ୍ୟ, Cr2O3 @ SnO2 ନାନୋୱାୟର୍ ପାଇଁ, ଶୁଦ୍ଧ SnO2 ନାନୋୱାୟାର ତୁଳନାରେ ବାୟୁରେ SnO2 ନାନୋୱାୟାରର ପ୍ରାରମ୍ଭିକ DEL ବୃଦ୍ଧି ପାଇଥାଏ, ଏବଂ ଏକ ହେଟେରୋଜେକ୍ସନ୍ ଗଠନ ହେତୁ ଚାଳନା ଚ୍ୟାନେଲକୁ ଦମନ କରାଯାଇଥାଏ |ତେଣୁ, ଯେତେବେଳେ ସେନ୍ସର ହ୍ରାସ କରୁଥିବା ଗ୍ୟାସର ସଂସ୍ପର୍ଶରେ ଆସେ, ଫାଶରେ ପଡ଼ିଥିବା ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ଗୁଡିକ SnO2 ନାନୋୱାୟାରରେ ଛାଡି ଦିଆଯାଏ ଏବଂ EDL ବହୁତ ମାତ୍ରାରେ କମିଯାଏ, ଫଳସ୍ୱରୂପ ଶୁଦ୍ଧ SnO2 ନାନୋୱାୟାର ଅପେକ୍ଷା ଅଧିକ ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା ସୃଷ୍ଟି ହୁଏ |ଅପରପକ୍ଷେ, ଏକ ଅକ୍ସିଡାଇଜ୍ ଗ୍ୟାସ୍ କୁ ପରିବର୍ତ୍ତନ କରିବାବେଳେ, DEL ବିସ୍ତାର ସୀମିତ, ଫଳସ୍ୱରୂପ କମ୍ ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା |Choi et al।, 133 ଦ୍ similar ାରା ସମାନ ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଫଳାଫଳଗୁଡିକ ପରିଲକ୍ଷିତ ହୋଇଥିଲା ଯେଉଁଥିରେ p- ପ୍ରକାର WO3 ନାନୋପାର୍ଟିକଲ୍ସରେ ସଜାଯାଇଥିବା SnO2 ନାନୋୱାୟର୍ ଗ୍ୟାସ୍ ହ୍ରାସ କରିବାରେ ଯଥେଷ୍ଟ ଉନ୍ନତ ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଦେଖାଇଥିବାବେଳେ n- ସଜାଯାଇଥିବା SnO2 ସେନ୍ସରଗୁଡ଼ିକ ଅକ୍ସିଡାଇଜ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ପ୍ରତି ସମ୍ବେଦନଶୀଳତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିଥିଲେ |TiO2 ନାନୋପାର୍ଟିକଲ୍ସ (ଚିତ୍ର 6b) 133. ଏହି ଫଳାଫଳ ମୁଖ୍ୟତ Sn SnO2 ଏବଂ MOS (TiO2 କିମ୍ବା WO3) ନାନୋ ପାର୍ଟିକଲ୍ସର ବିଭିନ୍ନ କାର୍ଯ୍ୟ କାର୍ଯ୍ୟ ଯୋଗୁଁ ହୋଇଥାଏ |P- ପ୍ରକାର (n- ପ୍ରକାର) ନାନୋପାର୍ଟିକଲ୍ସରେ, framework ାଞ୍ଚା ସାମଗ୍ରୀର କଣ୍ଡକ୍ଟ ଚ୍ୟାନେଲ୍ (SnO2) ରେଡିଆଲ୍ ଦିଗରେ ବିସ୍ତାର ହୁଏ (କିମ୍ବା ଚୁକ୍ତିନାମା), ଏବଂ ତାପରେ, ହ୍ରାସ (କିମ୍ବା ଅକ୍ସିଡେସନ୍) କ୍ରିୟା ଅଧୀନରେ, ଅଧିକ ବିସ୍ତାର (କିମ୍ବା କ୍ଷୁଦ୍ରତା) | ଗ୍ୟାସର SnO2 - rib) ର ଚାଳନା ଚ୍ୟାନେଲର (ଚିତ୍ର 6b) |
ପରିବର୍ତ୍ତିତ LF MOS ଦ୍ Rad ାରା ରେଡିୟଲ୍ ମଡ୍ୟୁଲେସନ୍ ମେକାନିଜିମ୍ |ଶୁଦ୍ଧ SnO2 ଏବଂ Cr2O3 @ SnO2 ନାନୋୱାୟର୍ ଏବଂ ଅନୁରୂପ ସେନ୍ସିଂ ମେକାନିଜିମ୍ ସ୍କିମେଟିକ୍ ଚିତ୍ର ଉପରେ ଆଧାର କରି 10 ppm ଗ୍ୟାସ୍ ହ୍ରାସ ଏବଂ ଅକ୍ସିଡାଇଜ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ର ଏକ ସାରାଂଶ;ଏବଂ WO3 @ SnO2 ନାନୋରୋଡ୍ ଏବଂ ଚିହ୍ନଟ ଯନ୍ତ୍ରର ଅନୁରୂପ ଯୋଜନାଗୁଡିକ |
ବିଲାୟର୍ ଏବଂ ମଲ୍ଟିଲାୟର୍ ହେଟେରୋଷ୍ଟ୍ରକଚର ଡିଭାଇସରେ, ଡିଭାଇସର କଣ୍ଡକ୍ଟ ଚ୍ୟାନେଲ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ ସହିତ ସିଧାସଳଖ ଯୋଗାଯୋଗରେ ସ୍ତର (ସାଧାରଣତ the ତଳ ସ୍ତର) ଦ୍ୱାରା ପ୍ରାଧାନ୍ୟ ପ୍ରାପ୍ତ ହୁଏ ଏବଂ ଦୁଇଟି ସ୍ତରର ଇଣ୍ଟରଫେସରେ ଗଠିତ ହେଟେରୋଜଙ୍କସନ ନିମ୍ନ ସ୍ତରର କଣ୍ଡକ୍ଟିଭିଟି ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରିପାରିବ | ।ତେଣୁ, ଯେତେବେଳେ ଗ୍ୟାସ୍ ଉପର ସ୍ତର ସହିତ ପାରସ୍ପରିକ କ୍ରିୟା କରେ, ସେମାନେ ତଳ ସ୍ତରର ଚାଳନା ଚ୍ୟାନେଲ ଏବଂ ଉପକରଣର ପ୍ରତିରୋଧ 134 କୁ ଯଥେଷ୍ଟ ପ୍ରଭାବିତ କରିପାରନ୍ତି |ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, କୁମାର ଏବଂ ଅନ୍ୟମାନେ |77 NH3 ପାଇଁ TiO2 @ NiO ଏବଂ NiO @ TiO2 ଡବଲ୍ ସ୍ତରର ବିପରୀତ ଆଚରଣ ବିଷୟରେ ଜଣାଇଲେ |ଏହି ପାର୍ଥକ୍ୟ ଉପୁଜେ କାରଣ ଦୁଇଟି ସେନ୍ସର କଣ୍ଡକ୍ଟ ଚ୍ୟାନେଲ ବିଭିନ୍ନ ସାମଗ୍ରୀର ସ୍ତରରେ (ଯଥାକ୍ରମେ NiO ଏବଂ TiO2) ପ୍ରାଧାନ୍ୟ ଦେଇଥାଏ, ଏବଂ ତାପରେ ଅନ୍ତର୍ନିହିତ ଚାଳନା ଚ୍ୟାନେଲଗୁଡ଼ିକର ପରିବର୍ତ୍ତନ ଭିନ୍ନ 77 |
ବିଲାୟର୍ କିମ୍ବା ମଲ୍ଟିଲାୟର୍ ହେଟେରୋନାନଷ୍ଟ୍ରକଚରଗୁଡିକ ସାଧାରଣତ sp ସ୍ପୁଟର୍, ପରମାଣୁ ସ୍ତର ଜମା (ALD) ଏବଂ ସେଣ୍ଟ୍ରିଫୁଗେସନ୍ 56,70,134,135,136 ଦ୍ୱାରା ଉତ୍ପାଦିତ ହୁଏ |ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରର ଘନତା ଏବଂ ଦୁଇଟି ସାମଗ୍ରୀର ଯୋଗାଯୋଗ କ୍ଷେତ୍ରକୁ ଭଲ ଭାବରେ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରାଯାଇପାରିବ |ଚିତ୍ର 7a ଏବଂ b NiO @ SnO2 ଏବଂ Ga2O3 @ WO3 ନାନୋଫିଲ୍ମଗୁଡିକ ଇଥାନଲ ଚିହ୍ନଟ ପାଇଁ ସ୍ପଟର୍ କରି ପ୍ରାପ୍ତ ହୋଇଛି |ଅବଶ୍ୟ, ଏହି ପଦ୍ଧତିଗୁଡ଼ିକ ସାଧାରଣତ flat ଫ୍ଲାଟ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଉତ୍ପାଦନ କରନ୍ତି, ଏବଂ ଏହି ଫ୍ଲାଟ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରଗୁଡ଼ିକ ନିମ୍ନ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ପୃଷ୍ଠଭୂମି ଏବଂ ଗ୍ୟାସର ବ୍ୟାପ୍ତତା କାରଣରୁ 3D ନାନୋଷ୍ଟ୍ରକଚର ସାମଗ୍ରୀ ଅପେକ୍ଷା କମ୍ ସମ୍ବେଦନଶୀଳ |ତେଣୁ, ବିଭିନ୍ନ ହାଇରାର୍କି ସହିତ ବିଲାୟର୍ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଗଠନ ପାଇଁ ଏକ ତରଳ-ପର୍ଯ୍ୟାୟ ରଣନୀତି ମଧ୍ୟ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ପୃଷ୍ଠଭୂମି କ୍ଷେତ୍ର 41,52,138 ବୃଦ୍ଧି କରି ଅନୁଭବ କାର୍ଯ୍ୟରେ ଉନ୍ନତି ଆଣିବାକୁ ପ୍ରସ୍ତାବ ଦିଆଯାଇଛି |Zhu et al139 ମିଳିତ ସ୍ପୁଟର୍ ଏବଂ ହାଇଡ୍ରୋଥର୍ମାଲ୍ କ ques ଶଳଗୁଡିକ H2S ଚିହ୍ନଟ ପାଇଁ SnO2 ନାନୋୱାୟାର୍ (ZnO @ SnO2 ନାନୋୱାୟାର୍) ଉପରେ ଅତ୍ୟଧିକ ଅର୍ଡର ହୋଇଥିବା ZnO ନାନୋୱାୟର୍ ଉତ୍ପାଦନ କରିବାକୁ | ଚିତ୍ର 7c) |1 ppm H2S ପ୍ରତି ଏହାର ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ସ୍ପଟର୍ ZnO @ SnO2 ନାନୋଫିଲ୍ମ ଉପରେ ଆଧାରିତ ଏକ ସେନ୍ସର ତୁଳନାରେ 1.6 ଗୁଣ ଅଧିକ |ଲିୟୁ ଏବଂ ଅନ୍ୟମାନେ |52 ଏକ ଉଚ୍ଚ କ୍ଷମତା ସମ୍ପନ୍ନ H2S ସେନ୍ସରକୁ ହାଇରାର୍କିକାଲ୍ SnO2 @ NiO ନାନୋଷ୍ଟ୍ରକଚର୍ସ ଗଠନ କରିବା ପାଇଁ ସିଟୁ ରାସାୟନିକ ଜମା ପ୍ରଣାଳୀରେ ଦୁଇ-ଷ୍ଟେପ୍ ବ୍ୟବହାର କରି ଥର୍ମାଲ୍ ଆନ୍ଲିଙ୍ଗ୍ (ଚିତ୍ର 10d) ରିପୋର୍ଟ କରିଛି |ପାରମ୍ପାରିକ ସ୍ପଟର୍ଡ୍ SnO2 @ NiO ବିଲାୟର୍ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ତୁଳନାରେ, ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ପୃଷ୍ଠଭୂମି ବୃଦ୍ଧି ହେତୁ SnO2 @ NiO ହାଇରାର୍କିକାଲ୍ ବିଲାୟର୍ ସଂରଚନାର ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା ପ୍ରଦର୍ଶନ ଯଥେଷ୍ଟ ଉନ୍ନତ ହୋଇଛି 52,137 |
MOS ଉପରେ ଆଧାର କରି ଡବଲ୍ ଲେୟାର୍ ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସର |ଇଥାନଲ ଚିହ୍ନଟ ପାଇଁ NiO @ SnO2 ନାନୋଫିଲ୍ମ;ଇଥାନଲ ଚିହ୍ନଟ ପାଇଁ 137b Ga2O3 @ WO3 ନାନୋଫିଲ୍ମ;H2S ଚିହ୍ନଟ ପାଇଁ 135c ଅତ୍ୟଧିକ ଅର୍ଡର ହୋଇଥିବା SnO2 @ ZnO ବିଲାୟର୍ ହାଇରାର୍କିକାଲ୍ ଗଠନ;H2S52 ଚିହ୍ନଟ ପାଇଁ 139d SnO2 @ NiO ବିଲାୟର୍ ହାଇରାର୍କିକାଲ୍ ଗଠନ |
କୋର୍-ସେଲ୍ ହେଟେରୋନାନଷ୍ଟ୍ରକଚର୍ସ (CSHNs) ଉପରେ ଆଧାରିତ ଟାଇପ୍ II ଡିଭାଇସରେ, ସେନ୍ସିଂ ମେକାନିଜିମ୍ ଅଧିକ ଜଟିଳ, ଯେହେତୁ ଚାଳନା ଚ୍ୟାନେଲଗୁଡ଼ିକ ଭିତର ସେଲରେ ସୀମିତ ନୁହେଁ |ଉଭୟ ଉତ୍ପାଦନ ମାର୍ଗ ଏବଂ ପ୍ୟାକେଜ୍ ର ଘନତା (ଘ) କଣ୍ଡକ୍ଟିଭ୍ ଚ୍ୟାନେଲଗୁଡିକର ଅବସ୍ଥାନ ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରିପାରିବ |ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ଲୋ-ଅପ୍ ସିନ୍ଥେସିସ୍ ପଦ୍ଧତି ବ୍ୟବହାର କରିବାବେଳେ, ଚାଳନା ଚ୍ୟାନେଲଗୁଡ଼ିକ ସାଧାରଣତ the ଭିତର କୋରରେ ସୀମିତ ରହିଥାଏ, ଯାହା ଦୁଇ ସ୍ତରୀୟ କିମ୍ବା ମଲ୍ଟିଲାୟର୍ ଡିଭାଇସ୍ ଗଠନ ସହିତ ସମାନ (ଚିତ୍ର 2 ବି (3)) 123, 140, 141, 142, 143. ଜୁ ଏଟ୍144 CSHN NiO @ α-Fe2O3 ଏବଂ CuO @ α-Fe2O3 ପାଇବା ପାଇଁ ଏକ ନିମ୍ନ-ଉପାୟ ବିଷୟରେ ଜଣାଇଲା, Ni-Fe2O3 ନାନୋରୋଡରେ NiO କିମ୍ବା CuO NP ର ଏକ ସ୍ତର ଜମା କରି ଯେଉଁଥିରେ ଚ୍ୟାନେଲ କେନ୍ଦ୍ରୀୟ ଅଂଶ ଦ୍ୱାରା ସୀମିତ ଥିଲା |(ନାନୋରୋଡ୍ α-Fe2O3) |ଲିୟୁ ଏବଂ ଅନ୍ୟମାନେ |142 ସିଲିକନ୍ ନାନୋୱାୟାରର ପ୍ରସ୍ତୁତ ଆରେ ଉପରେ TiO2 ଜମା କରି CSHN TiO2 @ Si ର ମୁଖ୍ୟ ଅଂଶରେ କଣ୍ଡକ୍ଟ ଚ୍ୟାନେଲକୁ ସୀମିତ କରିବାରେ ସଫଳ ହୋଇଥିଲା |ତେଣୁ, ଏହାର ସେନ୍ସିଂ ଆଚରଣ (p- ପ୍ରକାର କିମ୍ବା n- ପ୍ରକାର) କେବଳ ସିଲିକନ୍ ନାନୋୱାୟାରର ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ପ୍ରକାର ଉପରେ ନିର୍ଭର କରେ |
ଅବଶ୍ୟ, ଅଧିକାଂଶ ରିପୋର୍ଟ ହୋଇଥିବା CSHN- ଆଧାରିତ ସେନ୍ସରଗୁଡ଼ିକ (ଚିତ୍ର 2 ବି (4)) ସିନ୍ଥେସାଇଜଡ୍ CS ପଦାର୍ଥର ପାଉଡର୍ଗୁଡ଼ିକୁ ଚିପ୍ସକୁ ସ୍ଥାନାନ୍ତର କରି ଗଠନ କରାଯାଇଥିଲା |ଏହି ପରିପ୍ରେକ୍ଷୀରେ, ଗୃହର ଘନତା (ଘଣ୍ଟା) ଦ୍ୱାରା ସେନ୍ସରର ଚାଳନା ପଥ ପ୍ରଭାବିତ ହୁଏ |କିସ୍ ଗୋଷ୍ଠୀ ଗ୍ୟାସ୍ ଚିହ୍ନଟ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଉପରେ hs ର ପ୍ରଭାବ ଅନୁସନ୍ଧାନ କରିଥିଲେ ଏବଂ ଏକ ସମ୍ଭାବ୍ୟ ଚିହ୍ନଟ ପ୍ରଣାଳୀ 100,112,145,146,147,148 ପ୍ରସ୍ତାବ ଦେଇଥିଲେ | ଏହା ବିଶ୍ structure ାସ କରାଯାଏ ଯେ ଏହି structure ାଞ୍ଚାର ସେନ୍ସିଂ ଯନ୍ତ୍ରରେ ଦୁଇଟି କାରଣ ସହାୟକ ହୁଏ: (1) ଶେଲର EDL ର ରେଡିୟାଲ୍ ମୋଡ୍ୟୁଲେସନ ଏବଂ (2) ବ electric ଦ୍ୟୁତିକ କ୍ଷେତ୍ରର ଧୂଳି ପ୍ରଭାବ (ଚିତ୍ର 8) 145. ଅନୁସନ୍ଧାନକାରୀମାନେ ଉଲ୍ଲେଖ କରିଛନ୍ତି ଯେ ଚାଳନା ଚ୍ୟାନେଲ | ବାହକଗୁଡ଼ିକର ଶେଲ୍ ସ୍ତରର hs> λD ଯେତେବେଳେ ଶେଲ୍ ସ୍ତରରେ ସୀମିତ | ଏହା ବିଶ୍ structure ାସ କରାଯାଏ ଯେ ଏହି structure ାଞ୍ଚାର ସେନ୍ସିଂ ଯନ୍ତ୍ରରେ ଦୁଇଟି କାରଣ ସହାୟକ ହୁଏ: (1) ଶେଲର EDL ର ରେଡିୟାଲ୍ ମୋଡ୍ୟୁଲେସନ ଏବଂ (2) ବ electric ଦ୍ୟୁତିକ କ୍ଷେତ୍ରର ଧୂଳି ପ୍ରଭାବ (ଚିତ୍ର 8) 145. ଅନୁସନ୍ଧାନକାରୀମାନେ ଉଲ୍ଲେଖ କରିଛନ୍ତି ଯେ ଚାଳନା ଚ୍ୟାନେଲ | ବାହକଗୁଡ଼ିକର ଶେଲ୍ ସ୍ତରର hs> λD ଯେତେବେଳେ ଶେଲ୍ ସ୍ତରରେ ସୀମିତ | Считается, что в механизме восприятия этой зыстаствуют два уаа: λD оболочки145। ଏହି structure ାଞ୍ଚାର ଧାରଣାର ଯନ୍ତ୍ରରେ ଦୁଇଟି କାରଣ ଜଡିତ ବୋଲି ବିଶ୍ believed ାସ କରାଯାଏ: (1) ଶେଲର EDL ର ରେଡିଆଲ୍ ମୋଡ୍ୟୁଲେସନ ଏବଂ (2) ବ electric ଦ୍ୟୁତିକ କ୍ଷେତ୍ରକୁ ଅସ୍ପଷ୍ଟ କରିବାର ପ୍ରଭାବ (ଚିତ୍ର 8) 145. ଅନୁସନ୍ଧାନକାରୀମାନେ ସୂଚାଇ ଦେଇଛନ୍ତି ଯେ କ୍ୟାରିଅର୍ କଣ୍ଡକ୍ଟେସନ୍ ଚ୍ୟାନେଲ୍ ମୁଖ୍ୟତ the ଶେଲ୍ ମଧ୍ୟରେ ସୀମିତ ଥାଏ ଯେତେବେଳେ hs> λD shells145 |ଏହା ବିଶ୍ structure ାସ କରାଯାଏ ଯେ ଏହି structure ାଞ୍ଚାର ଚିହ୍ନଟ ପ୍ରଣାଳୀରେ ଦୁଇଟି କାରଣ ସହାୟକ ହୁଏ: (1) ଶେଲର DEL ର ରେଡିଆଲ୍ ମଡ୍ୟୁଲେସନ ଏବଂ (2) ବ electric ଦ୍ୟୁତିକ କ୍ଷେତ୍ରର ଧୂଳିର ପ୍ରଭାବ (ଚିତ୍ର 8) 145 |研究 人员 提到 传导 当 壳层 s s> 14D145 时 , 载 子。。。 > λD145 时 , 载 流 子 的 数量。。 Исследователи отметили, что кан проводимости Когда hs> λD145 оболочки, количесто носитея в основном ограничено оболо чекой। ଅନୁସନ୍ଧାନକାରୀମାନେ ସୂଚାଇ ଦେଇଛନ୍ତି ଯେ ଶେଲର hs> λD145 ଯେତେବେଳେ ଚାଳନା ଚ୍ୟାନେଲ, ବାହକ ସଂଖ୍ୟା ମୁଖ୍ୟତ the ସେଲ ଦ୍ୱାରା ସୀମିତ |ତେଣୁ, CSHN ଉପରେ ଆଧାରିତ ସେନସର ପ୍ରତିରୋଧକ ମୋଡ୍ୟୁଲେସନରେ, କ୍ଲାଡିଂ DEL ର ରେଡିଆଲ୍ ମୋଡ୍ୟୁଲେସନ ପ୍ରାଧାନ୍ୟ ଦେଇଥାଏ (ଚିତ୍ର 8a) |ତଥାପି, ସେଲର hs λ λD ରେ, ସେଲ ଦ୍ୱାରା ବିଜ୍ ads ାପିତ ଅମ୍ଳଜାନ କଣିକା ଏବଂ CS heterojunction ରେ ଗଠିତ ହେଟେରୋଜେକ୍ସନ୍ ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ଗୁଡିକ ସଂପୂର୍ଣ୍ଣ ଭାବେ ନଷ୍ଟ ହୋଇଯାଏ | ତେଣୁ, କଣ୍ଡକ୍ଟେସନ୍ ଚ୍ୟାନେଲ୍ କେବଳ ସେଲ୍ ସ୍ତର ଭିତରେ ନୁହେଁ ବରଂ ଆଂଶିକ ମୂଳ ଅଂଶରେ ମଧ୍ୟ ଅବସ୍ଥିତ, ବିଶେଷତ when ଯେତେବେଳେ ସେଲ୍ ସ୍ତରର hs <λD | ତେଣୁ, କଣ୍ଡକ୍ଟେସନ୍ ଚ୍ୟାନେଲ୍ କେବଳ ସେଲ୍ ସ୍ତର ଭିତରେ ନୁହେଁ ବରଂ ଆଂଶିକ ମୂଳ ଅଂଶରେ ମଧ୍ୟ ଅବସ୍ଥିତ, ବିଶେଷତ when ଯେତେବେଳେ ସେଲ୍ ସ୍ତରର hs <λD | Поэтому Кан прововостости располагается не только внутри оболочечного слоя, ноябрь һәм частично в сердцевинной части, особенно при hs <λD оболочечного слоя। ତେଣୁ, କଣ୍ଡକ୍ଟେସନ୍ ଚ୍ୟାନେଲ୍ କେବଳ ଶେଲ୍ ସ୍ତର ଭିତରେ ନୁହେଁ, ଆଂଶିକ ମୂଳ ଅଂଶରେ ମଧ୍ୟ ଅବସ୍ଥିତ, ବିଶେଷତ the ଶେଲ୍ ସ୍ତରର hs <λD ରେ |因此 , 传导 <s s s <λD hs <λD 时。 Поэтому Кан прововостости располагается не только внутри оболочки, ноябрь һәм частично в сердцевине, особенно при hs <λD оболочки। ତେଣୁ, କଣ୍ଡକ୍ଟେସନ୍ ଚ୍ୟାନେଲ୍ କେବଳ ଶେଲ୍ ଭିତରେ ନୁହେଁ, ଆଂଶିକ କୋରରେ ମଧ୍ୟ ଅବସ୍ଥିତ, ବିଶେଷତ the ଶେଲର hs <λD ରେ |ଏହି ପରିପ୍ରେକ୍ଷୀରେ, ଉଭୟ ସଂପୂର୍ଣ୍ଣ ହ୍ରାସ ହୋଇଥିବା ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ସେଲ୍ ଏବଂ ଆଂଶିକ ହ୍ରାସ ହୋଇଥିବା କୋର ସ୍ତର ସମଗ୍ର CSHN ର ପ୍ରତିରୋଧକୁ ମଡ୍ୟୁଲେଟ୍ କରିବାରେ ସାହାଯ୍ୟ କରେ, ଫଳସ୍ୱରୂପ ଏକ ବ electric ଦୁତିକ କ୍ଷେତ୍ର ଲାଞ୍ଜ ପ୍ରଭାବ (ଚିତ୍ର 8b) |ଅନ୍ୟ କେତେକ ଅଧ୍ୟୟନ hs ପ୍ରଭାବ 100,148 ବିଶ୍ଳେଷଣ କରିବା ପାଇଁ ଏକ ବ electric ଦ୍ୟୁତିକ କ୍ଷେତ୍ର ଲାଞ୍ଜ ବଦଳରେ EDL ଭଲ୍ୟୁମ୍ ଭଗ୍ନାଂଶ ଧାରଣା ବ୍ୟବହାର କରିଛନ୍ତି |ଏହି ଦୁଇଟି ଅବଦାନକୁ ଧ୍ୟାନରେ ରଖି, CSHN ପ୍ରତିରୋଧର ମୋଟ ମୋଡ୍ୟୁଲେସନ ଏହାର ସର୍ବ ବୃହତ ମୂଲ୍ୟରେ ପହଞ୍ଚେ ଯେତେବେଳେ hs ଶୀଟ୍ λD ସହିତ ତୁଳନା କରାଯାଏ, ଚିତ୍ର 8c ରେ ଦେଖାଯାଇଥିବା ପରି |ତେଣୁ, CSHN ପାଇଁ ସର୍ବୋଚ୍ଚ hs ଶେଲ୍ λD ର ନିକଟତର ହୋଇପାରେ, ଯାହା ପରୀକ୍ଷାମୂଳକ ପର୍ଯ୍ୟବେକ୍ଷଣ ସହିତ ସମାନ, 99,144,145,146,149 |ଅନେକ ଅଧ୍ୟୟନରୁ ଜଣାପଡିଛି ଯେ hs CSHN- ଆଧାରିତ pn-heterojunction ସେନ୍ସର 40,148 ର ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା ଉପରେ ମଧ୍ୟ ପ୍ରଭାବ ପକାଇପାରେ |ଲି ଏବଂ ଅନ୍ୟମାନେ |148 ଏବଂ ବାଇ ଇତ୍ୟାଦି |40 pn-heterojunction CSHN ସେନସର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଉପରେ hs ର ପ୍ରଭାବକୁ ନିୟମିତ ଭାବରେ ଅନୁସନ୍ଧାନ କଲା, ଯେପରିକି TiO2 @ CuO ଏବଂ ZnO @ NiO, କ୍ଲାଡିଂ ALD ଚକ୍ର ପରିବର୍ତ୍ତନ କରି |ଫଳସ୍ୱରୂପ, hs40,148 ବୃଦ୍ଧି ସହିତ ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ଆଚରଣ p- ପ୍ରକାରରୁ n- ପ୍ରକାରକୁ ବଦଳିଗଲା |ଏହି ଆଚରଣର କାରଣ ହେଉଛି ଯେ ପ୍ରଥମେ (ସୀମିତ ସଂଖ୍ୟକ ALD ଚକ୍ର ସହିତ) ହେଟେରୋଷ୍ଟ୍ରକଚରଗୁଡିକ ପରିବର୍ତ୍ତିତ ହେଟେରୋନାନଷ୍ଟ୍ରକଚର ଭାବରେ ବିବେଚନା କରାଯାଇପାରେ |ଏହିପରି, କଣ୍ଡକ୍ଟ ଚ୍ୟାନେଲ କୋର ସ୍ତର (p- ପ୍ରକାର MOSFET) ଦ୍ୱାରା ସୀମିତ, ଏବଂ ସେନସର p- ପ୍ରକାର ଚିହ୍ନଟ ଆଚରଣ ପ୍ରଦର୍ଶନ କରେ |ଯେହେତୁ ALD ଚକ୍ର ସଂଖ୍ୟା ବ increases େ, କ୍ଲାଡିଂ ସ୍ତର (n- ପ୍ରକାର MOSFET) କ୍ୱାସୀ-କ୍ରମାଗତ ହୋଇଯାଏ ଏବଂ ଏକ ଚାଳନା ଚ୍ୟାନେଲ ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ, ଫଳସ୍ୱରୂପ n- ପ୍ରକାରର ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା |Pn ଶାଖା ହେଟେରୋନାନଷ୍ଟ୍ରକଚର 150,151 ପାଇଁ ସମାନ ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ପରିବର୍ତ୍ତନ ଆଚରଣ ରିପୋର୍ଟ କରାଯାଇଛି |ଜୋଉ ଏଟ୍।150 Zn2SnO4 @ Mn3O4 ଶାଖା ବିଶିଷ୍ଟ ହେଟେରୋନୋନଷ୍ଟ୍ରକଚରର ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା Mn3O4 ନାନୋୱାୟାର ପୃଷ୍ଠରେ Zn2SnO4 ବିଷୟବସ୍ତୁକୁ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରି ଅନୁସନ୍ଧାନ କଲା |ଯେତେବେଳେ Zn2SnO4 ନ୍ୟୁକ୍ଲିୟ Mn3O4 ପୃଷ୍ଠରେ ଗଠିତ ହେଲା, ଏକ p ପ୍ରକାରର ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା ଦେଖାଗଲା |Zn2SnO4 ବିଷୟବସ୍ତୁରେ ଅଧିକ ବୃଦ୍ଧି ସହିତ, ଶାଖା ବିଶିଷ୍ଟ Zn2SnO4 @ Mn3O4 ହେଟେରୋନାନଷ୍ଟ୍ରକଚର ଉପରେ ଆଧାରିତ ସେନ୍ସର n- ପ୍ରକାର ସେନସର ଆଚରଣକୁ ବଦଳିଯାଏ |
CS ନାନୋୱାୟାରର ଦୁଇଟି-କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ସେନସର ଯାନ୍ତ୍ରିକର ଏକ ଧାରଣା ବର୍ଣ୍ଣନା ଦର୍ଶାଯାଇଛି |ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍-ହ୍ରାସ ହୋଇଥିବା ଶେଲଗୁଡିକର ରେଡିୟଲ୍ ମୋଡ୍ୟୁଲେସନ ହେତୁ ଏକ ପ୍ରତିରୋଧ ମଡ୍ୟୁଲେସନ, b ପ୍ରତିରୋଧ ମୋଡ୍ୟୁଲେସନ ଉପରେ ଘଷିବାର ନକାରାତ୍ମକ ପ୍ରଭାବ, ଏବଂ ଉଭୟ ପ୍ରଭାବର ମିଶ୍ରଣ ହେତୁ CS ନାନୋୱାୟାରର ମୋଟ ପ୍ରତିରୋଧ ମୋଡ୍ୟୁଲେସନ 40
ପରିଶେଷରେ, ଟାଇପ୍ II ସେନ୍ସରଗୁଡ଼ିକରେ ଅନେକ ଭିନ୍ନ ଭିନ୍ନ ହାଇରାର୍କିକାଲ୍ ନାନୋଷ୍ଟ୍ରକଚର ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ, ଏବଂ ସେନ୍ସର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା କଣ୍ଡକ୍ଟିଭ୍ ଚ୍ୟାନେଲଗୁଡ଼ିକର ବ୍ୟବସ୍ଥା ଉପରେ ଅତ୍ୟଧିକ ନିର୍ଭରଶୀଳ |ତେଣୁ, ସେନସର କଣ୍ଡକ୍ଟ ଚ୍ୟାନେଲର ସ୍ଥିତିକୁ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରିବା ଏବଂ ଟାଇପ୍-୨ ସେନ୍ସର ବିସ୍ତାରିତ ସେନ୍ସିଂ ମେକାନିଜିମ୍ ଅଧ୍ୟୟନ କରିବା ପାଇଁ ଏକ ଉପଯୁକ୍ତ ହେଟେରୋନାନଷ୍ଟ୍ରକଚର୍ଡ୍ MOS ମଡେଲ୍ ବ୍ୟବହାର କରିବା ଅତ୍ୟନ୍ତ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ |
ଟାଇପ୍ III ସେନ୍ସର ସଂରଚନା ଅତି ସାଧାରଣ ନୁହେଁ, ଏବଂ କଣ୍ଡକ୍ଟେସନ୍ ଚ୍ୟାନେଲ୍ ଯଥାକ୍ରମେ ଦୁଇଟି ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ ସହିତ ସଂଯୁକ୍ତ ଦୁଇଟି ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ମଧ୍ୟରେ ଗଠିତ ହେଟେରୋଜଙ୍କ ଉପରେ ଆଧାରିତ |ଅଦ୍ୱିତୀୟ ଉପକରଣ ସଂରଚନା ସାଧାରଣତ mic ମାଇକ୍ରୋମାଚାଇନିଂ କ ques ଶଳ ମାଧ୍ୟମରେ ପ୍ରାପ୍ତ ହୁଏ ଏବଂ ସେମାନଙ୍କର ସେନ୍ସିଂ କ s ଶଳଗୁଡ଼ିକ ପୂର୍ବ ଦୁଇଟି ସେନ୍ସର ସଂରଚନାଠାରୁ ବହୁତ ଭିନ୍ନ |ଏକ ପ୍ରକାର III ସେନ୍ସରର IV ବକ୍ର ସାଧାରଣତ ter ହେଟେରୋଜଙ୍କସନ୍ ଗଠନ ହେତୁ ସାଧାରଣ ସଂଶୋଧନ ବ characteristics ଶିଷ୍ଟ୍ୟ ପ୍ରଦର୍ଶନ କରେ 48,152,153 |ଏକ ଆଦର୍ଶ ହେଟେରୋଜେକ୍ସନ୍ ର I - V ବ character ଶିଷ୍ଟ୍ୟ ବକ୍ରକୁ ହେଟେରୋଜେକ୍ସନ୍ ବ୍ୟାରେଜର ଉଚ୍ଚତା ଉପରେ ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ଏମସନ୍ ର ଥର୍ମୋନିକ୍ କ mechanism ଶଳ ଦ୍ୱାରା ବର୍ଣ୍ଣନା କରାଯାଇପାରେ 152,154,155 |
ଯେଉଁଠାରେ Va ହେଉଛି ଦ୍ୱିପାକ୍ଷିକ ଭୋଲଟେଜ୍, A ହେଉଛି ଉପକରଣ କ୍ଷେତ୍ର, k ହେଉଛି ବୋଲ୍ଟଜମାନ୍ ସ୍ଥିର, T ହେଉଛି ସଂପୂର୍ଣ୍ଣ ତାପମାତ୍ରା, q ହେଉଛି ବାହକ ଚାର୍ଜ, Jn ଏବଂ Jp ଯଥାକ୍ରମେ ଛିଦ୍ର ଏବଂ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନ ବିସ୍ତାର କରେ |IS ଓଲଟା ସାଚୁଚରେସନ୍ କରେଣ୍ଟକୁ ପ୍ରତିନିଧିତ୍ୱ କରେ, ଯେପରି: 152,154,155 |
ତେଣୁ, pn heterojunction ର ସମୁଦାୟ କରେଣ୍ଟ ଚାର୍ଜ ବାହକମାନଙ୍କର ଏକାଗ୍ରତା ଏବଂ ହେଟେରୋଜଙ୍କସନର ପ୍ରତିବନ୍ଧକର ଉଚ୍ଚତାର ପରିବର୍ତ୍ତନ ଉପରେ ନିର୍ଭର କରେ, ଯେପରି ସମୀକରଣ (3) ଏବଂ (4) 156 ରେ ଦର୍ଶାଯାଇଛି |
ଯେଉଁଠାରେ nn0 ଏବଂ pp0 ହେଉଛି ଏକ n- ପ୍ରକାର (p- ପ୍ରକାର) MOS ରେ ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ (ଛିଦ୍ର) ର ଏକାଗ୍ରତା, \ (V_ {bi} ^ 0 \) ହେଉଛି ବିଲ୍ଟ-ଇନ୍ ସମ୍ଭାବନା, Dp (Dn) ହେଉଛି ବିସ୍ତାର କୋଏଫିସିଏଣ୍ଟ୍ | ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ (ଛିଦ୍ର), Ln (Lp) ହେଉଛି ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ (ଛିଦ୍ର) ର ବିସ୍ତାର ଦ length ର୍ଘ୍ୟ, ΔEv (ΔEc) ହେଉଛି ହେଟେରୋଜେନ୍ସରେ ଭାଲେନ୍ସ ବ୍ୟାଣ୍ଡ (କଣ୍ଡକ୍ଟସନ୍ ବ୍ୟାଣ୍ଡ) ର ଶକ୍ତି ପରିବର୍ତ୍ତନ |ଯଦିଓ ସାମ୍ପ୍ରତିକ ଘନତା ବାହକ ଘନତା ସହିତ ଆନୁପାତିକ, ଏହା \ (V_ {bi} ^ 0 \) ସହିତ ବିପରୀତ ଅନୁପଯୁକ୍ତ |ତେଣୁ, ସାମ୍ପ୍ରତିକ ଘନତ୍ୱର ସାମଗ୍ରିକ ପରିବର୍ତ୍ତନ ହେଟେରୋଜକସନ ବ୍ୟାରେଜର ଉଚ୍ଚତାର ମୋଡ୍ୟୁଲେସନ ଉପରେ ଦୃ strongly ଭାବରେ ନିର୍ଭର କରେ |
ଉପରୋକ୍ତ ପରି, ହେଟେରୋ-ନାନୋଷ୍ଟ୍ରକଚର୍ଡ MOSFET ଗୁଡ଼ିକର ସୃଷ୍ଟି (ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ଟାଇପ୍ I ଏବଂ ଟାଇପ୍ II ଉପକରଣ) ବ୍ୟକ୍ତିଗତ ଉପାଦାନ ଅପେକ୍ଷା ସେନ୍ସର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାକୁ ଯଥେଷ୍ଟ ଉନ୍ନତ କରିପାରିବ |ଏବଂ ତୃତୀୟ ପ୍ରକାର ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକ ପାଇଁ, ପଦାର୍ଥର ରାସାୟନିକ ଗଠନ ଉପରେ ନିର୍ଭର କରି, ହେଟେରୋନୋନଷ୍ଟ୍ରକଚର ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଦୁଇଟି ଉପାଦାନଠାରୁ ଅଧିକ ହୋଇପାରେ 48,153 କିମ୍ବା ଗୋଟିଏ ଉପାଦାନ 76 ଠାରୁ ଅଧିକ |ଅନେକ ରିପୋର୍ଟ ଦର୍ଶାଇଛି ଯେ ହେଟେରୋନାନଷ୍ଟ୍ରକଚରର ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଗୋଟିଏ ଉପାଦାନ ତୁଳନାରେ ବହୁତ ଅଧିକ ଅଟେ ଯେତେବେଳେ ଗୋଟିଏ ଉପାଦାନ ଲକ୍ଷ୍ୟସ୍ଥଳ ଗ୍ୟାସ 48,75,76,153 ପ୍ରତି ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ନୁହେଁ |ଏହି ପରିପ୍ରେକ୍ଷୀରେ, ଟାର୍ଗେଟ୍ ଗ୍ୟାସ୍ କେବଳ ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ସ୍ତର ସହିତ କାର୍ଯ୍ୟ କରିବ ଏବଂ ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ସ୍ତରର ଏକ ସିଫ୍ଟ ଇଫ୍ ଏବଂ ହେଟେରୋଜକସନ ବ୍ୟାରେଜର ଉଚ୍ଚତାରେ ପରିବର୍ତ୍ତନ ଆଣିବ |ତା’ପରେ ଡିଭାଇସର ସମୁଦାୟ କରେଣ୍ଟ ଯଥେଷ୍ଟ ପରିବର୍ତ୍ତନ ହେବ, କାରଣ ଏହା ସମୀକରଣ ଅନୁଯାୟୀ ହେଟେରୋଜକସନ ବ୍ୟାରେଜର ଉଚ୍ଚତା ସହିତ ବିପରୀତ ଭାବରେ ଜଡିତ |(3) ଏବଂ (4) 48,76,153ଅବଶ୍ୟ, ଯେତେବେଳେ ଉଭୟ n- ପ୍ରକାର ଏବଂ p- ପ୍ରକାର ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକ ଲକ୍ଷ୍ୟ ଗ୍ୟାସ୍ ପ୍ରତି ସମ୍ବେଦନଶୀଳ, ଚିହ୍ନଟ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ମଧ୍ୟରେ କିଛି ହୋଇପାରେ |ଜୋସେ ଏଟ୍ .76 ସ୍ପଟର୍ କରି ଏକ ଘୋର NiO / SnO2 ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର NO2 ସେନ୍ସର ଉତ୍ପାଦନ କଲା ଏବଂ ଜାଣିବାକୁ ପାଇଲା ଯେ ସେନ୍ସର ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା କେବଳ NiO ଆଧାରିତ ସେନ୍ସର ତୁଳନାରେ ଅଧିକ, କିନ୍ତୁ SnO2 ଆଧାରିତ ସେନ୍ସର ତୁଳନାରେ କମ୍ |ସେନସରSnO2 ଏବଂ NiO NO276 ଉପରେ ବିପରୀତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ପ୍ରଦର୍ଶନ କରୁଥିବା ହେତୁ ଏହି ଘଟଣା ଘଟିଥାଏ |ଆହୁରି ମଧ୍ୟ, ଯେହେତୁ ଦୁଇଟି ଉପାଦାନରେ ଭିନ୍ନ ଭିନ୍ନ ଗ୍ୟାସ୍ ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା ଥାଏ, ଅକ୍ସିଡାଇଜ୍ ଏବଂ ଗ୍ୟାସ୍ ହ୍ରାସ କରିବାରେ ସେମାନଙ୍କର ସମାନ ପ୍ରବୃତ୍ତି ଥାଇପାରେ |ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, କ୍ୱୋନ୍ ଏଟ୍।157 ଏକ NiO / SnO2 pn-heterojunction ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସରକୁ ଚିତ୍ର 9a ରେ ଦେଖାଯାଇଥିବା ପରି ଓଲିକ୍ ସ୍ପୁଟର୍ ଦ୍ୱାରା ପ୍ରସ୍ତାବ ଦେଇଛି |କ Interest ତୁହଳର ବିଷୟ, NiO / SnO2 pn-heterojunction ସେନ୍ସର H2 ଏବଂ NO2 ପାଇଁ ସମାନ ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା ଧାରା ଦେଖାଇଲା (ଚିତ୍ର 9a) |ଏହି ଫଳାଫଳକୁ ସମାଧାନ କରିବାକୁ, କ୍ୱୋନ୍ ଏଟ୍।157 ବ୍ୟବସ୍ଥିତ ଭାବରେ NO2 ଏବଂ H2 କିପରି ବାହକ ଏକାଗ୍ରତା ପରିବର୍ତ୍ତନ କରେ ଏବଂ IV- ବ characteristics ଶିଷ୍ଟ୍ୟ ଏବଂ କମ୍ପ୍ୟୁଟର ସିମୁଲେସନ୍ (ଚିତ୍ର 9bd) ବ୍ୟବହାର କରି ଉଭୟ ସାମଗ୍ରୀର \ (V_ {bi} ^ 0 \) ଟ୍ୟୁନ୍ କରେ |ଚିତ୍ର 9b ଏବଂ c ଯଥାକ୍ରମେ p-NiO (pp0) ଏବଂ n-SnO2 (nn0) ଉପରେ ଆଧାର କରି ସେନ୍ସର ବାହକ ସାନ୍ଧ୍ରତା ପରିବର୍ତ୍ତନ କରିବାକୁ H2 ଏବଂ NO2 ର କ୍ଷମତା ପ୍ରଦର୍ଶନ କରେ |ସେମାନେ ଦର୍ଶାଇଛନ୍ତି ଯେ p- ପ୍ରକାର NiO ର pp0 NO2 ପରିବେଶରେ ସାମାନ୍ୟ ପରିବର୍ତ୍ତନ ହୋଇଥିବାବେଳେ ଏହା H2 ପରିବେଶରେ ନାଟକୀୟ ଭାବରେ ପରିବର୍ତ୍ତନ ହୋଇଛି (ଚିତ୍ର 9b) |ତଥାପି, n- ପ୍ରକାର SnO2 ପାଇଁ, nn0 ବିପରୀତ ଉପାୟରେ ଆଚରଣ କରେ (ଚିତ୍ର 9c) |ଏହି ଫଳାଫଳଗୁଡିକ ଉପରେ ଆଧାର କରି, ଲେଖକମାନେ ସିଦ୍ଧାନ୍ତ ନେଇଛନ୍ତି ଯେ ଯେତେବେଳେ Ni2 / SnO2 pn ହେଟେରୋଜେକ୍ସନ୍ ଉପରେ ଆଧାର କରି ସେନ୍ସରରେ H2 ପ୍ରୟୋଗ କରାଯାଇଥିଲା, nn0 ର ବୃଦ୍ଧି Jn କୁ ବୃଦ୍ଧି କରିଥିଲା, ଏବଂ \ (V_ {bi} ^ 0 \) ପ୍ରତିକ୍ରିୟାରେ ହ୍ରାସ (ଚିତ୍ର 9d) |NO2 ର ସଂସ୍ପର୍ଶରେ ଆସିବା ପରେ, SnO2 ରେ nn0 ର ଉଭୟ ବଡ଼ ହ୍ରାସ ଏବଂ NiO ରେ pp0 ର ଅଳ୍ପ ବୃଦ୍ଧି \ (V_ {bi} ^ 0 \) ର ଏକ ବୃହତ ହ୍ରାସ ଘଟାଏ, ଯାହା ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାରେ ବୃଦ୍ଧି ନିଶ୍ଚିତ କରେ (ଚିତ୍ର 9d) ) 157 ପରିଶେଷରେ, ବାହକମାନଙ୍କର ଏକାଗ୍ରତାରେ ପରିବର୍ତ୍ତନ ଏବଂ \ (V_ {bi} ^ 0 \) ସମୁଦାୟ କରେଣ୍ଟରେ ପରିବର୍ତ୍ତନ ଆଣେ, ଯାହା ଚିହ୍ନଟ କ୍ଷମତାକୁ ଅଧିକ ପ୍ରଭାବିତ କରେ |
ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସରର ସେନ୍ସିଙ୍ଗ୍ ମେକାନିଜିମ୍ ଟାଇପ୍ III ଉପକରଣର ଗଠନ ଉପରେ ଆଧାରିତ |ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନ ମାଇକ୍ରୋସ୍କୋପି (SEM) କ୍ରସ-ସେକ୍ସନାଲ ଚିତ୍ର, p-NiO / n-SnO2 ନାନୋକୋଇଲ ଉପକରଣ ଏବଂ p-NiO / n-SnO2 ନାନୋକୋଇଲ ହେଟେରୋଜକସନ ସେନସର H2 ଏବଂ NO2 ପାଇଁ 200 ° C ରେ ସ୍କାନ କରିବା |b, ଏକ c- ଉପକରଣର କ୍ରସ୍-ବିଭାଗୀୟ SEM, ଏବଂ p-NiO b- ସ୍ତର ଏବଂ ଏକ n-SnO2 c- ସ୍ତର ସହିତ ଏକ ଉପକରଣର ଅନୁକରଣ ଫଳାଫଳ |B p-NiO ସେନ୍ସର ଏବଂ c n-SnO2 ସେନ୍ସର ମାପ ଏବଂ ଶୁଖିଲା ବାୟୁରେ ଏବଂ H2 ଏବଂ NO2 ର ସଂସ୍ପର୍ଶରେ ଆସିବା ପରେ I - V ବ characteristics ଶିଷ୍ଟ୍ୟ ସହିତ ମେଳ ହୁଏ |P-NiO ରେ ବି-ହୋଲ୍ ଘନତ୍ୱର ଏକ ଦୁଇ-ଡାଇମେନ୍ସନାଲ୍ ମାନଚିତ୍ର ଏବଂ ରଙ୍ଗ ସ୍କେଲ୍ ସହିତ n-SnO2 ସ୍ତରରେ ସି-ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ମାନଚିତ୍ର ସେଣ୍ଟୁରୁସ୍ TCAD ସଫ୍ଟୱେର୍ ବ୍ୟବହାର କରି ମଡେଲ କରାଯାଇଥିଲା |d ଶୁଷ୍କ ବାୟୁରେ p-NiO / n-SnO2, H2 ଏବଂ NO2157 ର 3D ମାନଚିତ୍ର ଦେଖାଉଥିବା ସିମୁଲେସନ୍ ଫଳାଫଳ |
ପଦାର୍ଥର ରାସାୟନିକ ଗୁଣ ସହିତ, ଟାଇପ୍ III ଉପକରଣର ସଂରଚନା ସ୍ୱୟଂ ଚାଳିତ ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସର ସୃଷ୍ଟି କରିବାର ସମ୍ଭାବନାକୁ ଦର୍ଶାଏ, ଯାହା ଟାଇପ୍ I ଏବଂ ଟାଇପ୍ II ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକ ସହିତ ସମ୍ଭବ ନୁହେଁ |ସେମାନଙ୍କର ଅନ୍ତର୍ନିହିତ ବ electric ଦ୍ୟୁତିକ କ୍ଷେତ୍ର (BEF) ହେତୁ, pn heterojunction ଡାୟୋଡ୍ ସଂରଚନା ସାଧାରଣତ phot ଫୋଟୋଭୋଲ୍ଟିକ୍ ଉପକରଣ ନିର୍ମାଣ କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ ଏବଂ ଆଲୋକୀକରଣ ତଳେ କୋଠରୀ ତାପମାତ୍ରାରେ ସ୍ power ୟଂ ଚାଳିତ ଫଟୋ ଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସର ତିଆରି କରିବାର ସମ୍ଭାବନା ଦେଖାଏ 74,158,159,160,161 |ହେଟେରୋଏଣ୍ଟର୍ଫେସରେ BEF, ସାମଗ୍ରୀର ଫର୍ମୀ ସ୍ତରର ପାର୍ଥକ୍ୟ ଦ୍ caused ାରା ସୃଷ୍ଟି, ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନ-ଗାତ ଯୁଗଳ ପୃଥକ କରିବାରେ ମଧ୍ୟ ସହାୟକ ହୋଇଥାଏ |ଏକ ସ୍ power ୟଂ ଚାଳିତ ଫୋଟୋଭୋଲ୍ଟିକ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସରର ସୁବିଧା ହେଉଛି ଏହାର କମ୍ ଶକ୍ତି ବ୍ୟବହାର କାରଣ ଏହା ଆଲୋକିତ ଆଲୋକର ଶକ୍ତି ଗ୍ରହଣ କରିପାରିବ ଏବଂ ତା’ପରେ ବାହ୍ୟ ଶକ୍ତି ଉତ୍ସର ଆବଶ୍ୟକତା ବିନା ନିଜକୁ କିମ୍ବା ଅନ୍ୟାନ୍ୟ କ୍ଷୁଦ୍ର ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକୁ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରିପାରିବ |ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ତନୁମା ଏବଂ ସୁଗିୟାମା 162 SnO2- ଆଧାରିତ ପଲିକ୍ରିଷ୍ଟାଲାଇନ୍ CO2 ସେନ୍ସରକୁ ସକ୍ରିୟ କରିବା ପାଇଁ NiO / ZnO pn heterojunctions କୁ ସ ar ର କୋଷ ଭାବରେ ଗଠନ କରିଛନ୍ତି |ଗାଡ୍ ଏବଂ ଅନ୍ୟ74 ଏକ ସି / ZnO @ CdS pn heterojunction ଉପରେ ଆଧାରିତ ଏକ ସ୍ୱୟଂ ଚାଳିତ ଫୋଟୋଭୋଲ୍ଟିକ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସର ରିପୋର୍ଟ କରିଛି, ଚିତ୍ର 10a ରେ ଦେଖାଯାଇଥିବା ପରି |ଭୂଲମ୍ବ ଭାବରେ ନିର୍ମିତ ZnO ନାନୋୱାୟର୍ ଗୁଡିକ ସିଧାସଳଖ p- ପ୍ରକାରର ସିଲିକନ୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ Si / ZnO pn heterojunctions ଗଠନ ପାଇଁ ବୃଦ୍ଧି କରାଯାଇଥିଲା |ତାପରେ ରାସାୟନିକ ପୃଷ୍ଠ ପରିବର୍ତ୍ତନ ଦ୍ୱାରା ZnO ନାନୋୱାୟାରର ପୃଷ୍ଠରେ CdS ନାନୋପାର୍ଟିକଲ୍ସ ପରିବର୍ତ୍ତନ କରାଯାଇଥିଲା |ଡିମ୍ବିରି ଉପରେ10a O2 ଏବଂ ଇଥାନଲ୍ ପାଇଁ ଅଫ୍ ଲାଇନ୍ Si / ZnO @ CdS ସେନ୍ସର ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଫଳାଫଳ ଦେଖାଏ |ଆଲୋକୀକରଣରେ, ସି / ଜ୍ନୋ ହେଟେରୋଏଣ୍ଟର୍ଫେସରେ BEP ସମୟରେ ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍-ହୋଲ୍ ଯୋଡିର ପୃଥକତା ହେତୁ ଓପନ୍-ସର୍କିଟ୍ ଭୋଲଟେଜ୍ (Voc) ସଂଯୁକ୍ତ ଡାୟୋଡ୍ ସଂଖ୍ୟା 74,161 ସହିତ ଧାଡ଼ିରେ ବ increases ିଥାଏ |Voc ଏକ ସମୀକରଣ ଦ୍ୱାରା ଉପସ୍ଥାପିତ ହୋଇପାରେ |(5) 156,
ଯେଉଁଠାରେ ND, NA, ଏବଂ Ni ହେଉଛି ଦାତା, ଗ୍ରହଣକାରୀ, ଏବଂ ଅନ୍ତର୍ନିହିତ ବାହକମାନଙ୍କର ଏକାଗ୍ରତା, ଏବଂ k, T, ଏବଂ q ପୂର୍ବ ସମୀକରଣ ପରି ସମାନ ପାରାମିଟର |ଯେତେବେଳେ ଅକ୍ସିଡାଇଜ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ସଂସ୍ପର୍ଶରେ ଆସେ, ସେମାନେ ZnO ନାନୋୱାୟାରରୁ ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ବାହାର କରନ୍ତି, ଯାହା \ (N_D ^ {ZnO} \) ଏବଂ Voc ହ୍ରାସ କରିଥାଏ |ଅପରପକ୍ଷେ, ଗ୍ୟାସ ହ୍ରାସ ହେତୁ Voc (ଚିତ୍ର 10a) ବୃଦ୍ଧି ପାଇଲା |CdS ନାନୋ-ପାର୍ଟିକଲ୍ସ ସହିତ ZnO କୁ ସଜାଇବାବେଳେ, CdS ନାନୋ-ପାର୍ଟିକଲ୍ସରେ ଥିବା ଫଟୋ ଏକ୍ସାଇଟେଡ୍ ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ଗୁଡିକ ZnO ର କଣ୍ଡକ୍ଟେସନ୍ ବ୍ୟାଣ୍ଡରେ ଇଞ୍ଜେକ୍ସନ ଦିଆଯାଏ ଏବଂ ଆଡ୍ସର୍ବେଡ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ସହିତ ପାରସ୍ପରିକ କ୍ରିୟା କରିଥାଏ, ଯାହାଦ୍ୱାରା ଧାରଣା ଦକ୍ଷତା ବୃଦ୍ଧି ପାଇ 74,160 |Si / ZnO ଉପରେ ଆଧାରିତ ଏକ ସମାନ ସ୍ୱୟଂ ଚାଳିତ ଫୋଟୋଭୋଲ୍ଟିକ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସର ହୋଫମ୍ୟାନ୍ ଏଟ୍ ଦ୍ୱାରା ରିପୋର୍ଟ କରାଯାଇଥିଲା |160, 161 (ଚିତ୍ର 10 ବି) |ଏହି ସେନ୍ସରଟି ଆମିନ-କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ZnO ନାନୋପାର୍ଟିକଲ୍ସ ([3- (2-ଆମିନୋଥାଇଲାମିନୋ) ପ୍ରୋପିଲ] ଟ୍ରାଇମେଟୋକ୍ସିସିଲାନ) (ଆମିନୋ-ଫଙ୍କସନାଲାଇଜଡ୍-SAM) ଏବଂ ଥାଇଲଲ୍ ((3-ମର୍କାପ୍ଟୋପ୍ରୋପିଲ୍) -ଫଙ୍କସନାଲ୍ ଲାଇନ୍ ବ୍ୟବହାର କରି ପ୍ରସ୍ତୁତ ହୋଇପାରିବ | NO2 (ଟ୍ରାଇମେଥୋକ୍ସିସିଲାନ) (ଥାଇଲୋ-ଫଙ୍କସନାଲାଇଜଡ୍- SAM) ର ଚୟନକାରୀ ଚିହ୍ନଟ ପାଇଁ ଲକ୍ଷ୍ୟ ଗ୍ୟାସର (ଚିତ୍ର 10 ବି) 74,161 |
ଏକ ପ୍ରକାର III ଉପକରଣର ଗଠନ ଉପରେ ଆଧାର କରି ଏକ ସ୍ୱୟଂ ଚାଳିତ ଫଟୋ ଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସର |Si / ZnO @ CdS ଉପରେ ଆଧାରିତ ଏକ ସ୍ୱୟଂ ଚାଳିତ ଫୋଟୋଭୋଲ୍ଟିକ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସର, ସ୍ୱୟଂ ଚାଳିତ ସେନ୍ସିଂ ମେକାନିଜିମ୍ ଏବଂ ଅକ୍ସିଡାଇଜଡ୍ (O2) ଏବଂ ସୂର୍ଯ୍ୟ କିରଣରେ ହ୍ରାସ (1000 ppm ଇଥାନଲ୍) ଗ୍ୟାସର ସେନ୍ସର ପ୍ରତିକ୍ରିୟା;ଟର୍ମିନାଲ୍ ଆମିନ ଏବଂ ଥାଇଲସ୍ 161 ସହିତ ZnO SAM ର କାର୍ଯ୍ୟକାରିତା ପରେ Si ZnO / ZnO ସେନ୍ସର ଏବଂ ବିଭିନ୍ନ ଗ୍ୟାସରେ ସେନ୍ସର ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଉପରେ ଆଧାର କରି 74b ସ୍ୱୟଂ ଚାଳିତ ଫୋଟୋଭୋଲ୍ଟିକ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସର |
ତେଣୁ, ଟାଇପ୍ III ସେନ୍ସର ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ଯନ୍ତ୍ରକ discuss ଶଳ ବିଷୟରେ ଆଲୋଚନା କରିବାବେଳେ, ହେଟେରୋଜକସନ ବ୍ୟାରେଜର ଉଚ୍ଚତା ଏବଂ ବାହକ ଏକାଗ୍ରତା ଉପରେ ଗ୍ୟାସର କ୍ଷମତା ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରିବା ଜରୁରୀ ଅଟେ |ଏଥିସହ, ଆଲୋକୀକରଣ ଫୋଟୋଜେନେରେଟେଡ୍ ବାହକ ସୃଷ୍ଟି କରିପାରିବ ଯାହା ଗ୍ୟାସ୍ ସହିତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରିଥାଏ, ଯାହା ସ୍ୱୟଂ ଚାଳିତ ଗ୍ୟାସ୍ ଚିହ୍ନଟ ପାଇଁ ପ୍ରତିଜ୍ଞାକାରୀ |
ଏହି ସାହିତ୍ୟ ସମୀକ୍ଷାରେ ଆଲୋଚନା ହୋଇଥିବା ପରି, ସେନ୍ସର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିବା ପାଇଁ ଅନେକ ଭିନ୍ନ MOS ହେଟେରୋନାନଷ୍ଟ୍ରକଚର ଗଠନ କରାଯାଇଛି |ୱେବ୍ ସାଇନ୍ସ ଡାଟାବେସ୍ ବିଭିନ୍ନ କୀ ଶବ୍ଦ (ଧାତୁ ଅକ୍ସାଇଡ୍ କମ୍ପୋସାଇଟ୍, କୋର-ଶୀଟ୍ ଧାତୁ ଅକ୍ସାଇଡ୍, ସ୍ତରୀୟ ଧାତୁ ଅକ୍ସାଇଡ୍, ଏବଂ ସ୍ power ୟଂ ଚାଳିତ ଗ୍ୟାସ୍ ଆନାଲିଜର୍) ତଥା ଭିନ୍ନ ବ characteristics ଶିଷ୍ଟ୍ୟ (ପ୍ରଚୁରତା, ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା / ଚୟନକର୍ତ୍ତା, ଶକ୍ତି ଉତ୍ପାଦନ ସମ୍ଭାବନା, ଉତ୍ପାଦନ) ପାଇଁ ଖୋଜା ଯାଇଥିଲା | ।ପ୍ରଣାଳୀ ଏହି ତିନୋଟି ଉପକରଣ ମଧ୍ୟରୁ ତିନୋଟିର ଗୁଣ ସାରଣୀ 2 ରେ ଦର୍ଶାଯାଇଛି | ଉଚ୍ଚ କ୍ଷମତା ସମ୍ପନ୍ନ ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସର ପାଇଁ ସାମଗ୍ରିକ ଡିଜାଇନ୍ ଧାରଣା ୟାମାଜୋ ଦ୍ୱାରା ପ୍ରସ୍ତାବିତ ତିନୋଟି ମୁଖ୍ୟ କାରଣକୁ ବିଶ୍ଳେଷଣ କରି ଆଲୋଚନା କରାଯାଇଛି |MOS ହେଟେରୋଷ୍ଟ୍ରକଚର ସେନ୍ସର ପାଇଁ ଯନ୍ତ୍ରକ gas ଶଳ ଗ୍ୟାସ ସେନସରକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରୁଥିବା କାରକଗୁଡ଼ିକୁ ବୁ To ିବା ପାଇଁ ବିଭିନ୍ନ MOS ପାରାମିଟରଗୁଡିକ (ଯଥା, ଶସ୍ୟ ଆକାର, କାର୍ଯ୍ୟ ତାପମାତ୍ରା, ତ୍ରୁଟି ଏବଂ ଅମ୍ଳଜାନ ଖାଲି ଘନତା, ଖୋଲା ସ୍ଫଟିକ୍ ବିମାନ) ଯତ୍ନର ସହ ଅଧ୍ୟୟନ କରାଯାଇଛି |ଡିଭାଇସ୍ ଗଠନ, ଯାହା ସେନ୍ସରର ସେନ୍ସିଂ ଆଚରଣ ପାଇଁ ମଧ୍ୟ ଗୁରୁତ୍ is ପୂର୍ଣ, ଏହାକୁ ଅବହେଳା କରାଯାଇଛି ଏବଂ କ୍ୱଚିତ୍ ଆଲୋଚନା କରାଯାଇଛି |ଏହି ସମୀକ୍ଷା ତିନି ପ୍ରକାରର ଉପକରଣ ସଂରଚନା ଚିହ୍ନଟ ପାଇଁ ଅନ୍ତର୍ନିହିତ ଯନ୍ତ୍ରକ discuss ଶଳ ଉପରେ ଆଲୋଚନା କରିଥାଏ |
ଶସ୍ୟ ଆକାରର ଗଠନ, ଉତ୍ପାଦନ ପଦ୍ଧତି, ଏବଂ ଏକ ପ୍ରକାର I ସେନସରରେ ଥିବା ସେନ୍ସିଙ୍ଗ୍ ସାମଗ୍ରୀର ହେଟେରୋଜୁଙ୍କସନ୍ ସଂଖ୍ୟା ସେନ୍ସର ସମ୍ବେଦନଶୀଳତାକୁ ବହୁତ ପ୍ରଭାବିତ କରିଥାଏ |ଏହା ସହିତ, ସେନ୍ସର ଆଚରଣ ମଧ୍ୟ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ମୋଲାର ଅନୁପାତ ଦ୍ୱାରା ପ୍ରଭାବିତ ହୁଏ |ଟାଇପ୍ II ଡିଭାଇସ୍ ଷ୍ଟ୍ରକଚର୍ସ (ସାଜସଜ୍ଜା ହେଟେରୋନାନଷ୍ଟ୍ରକଚର୍ସ, ବିଲାୟର୍ କିମ୍ବା ମଲ୍ଟିଲାୟର୍ ଫିଲ୍ମ, HSSNs) ହେଉଛି ଦୁଇଟି କିମ୍ବା ଅଧିକ ଉପାଦାନକୁ ନେଇ ଗଠିତ ସବୁଠାରୁ ଲୋକପ୍ରିୟ ଉପକରଣ ସଂରଚନା, ଏବଂ କେବଳ ଗୋଟିଏ ଉପାଦାନ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ ସହିତ ସଂଯୁକ୍ତ |ଏହି ଡିଭାଇସ୍ ଗଠନ ପାଇଁ, କଣ୍ଡକ୍ଟେସନ୍ ଚ୍ୟାନେଲଗୁଡିକର ଅବସ୍ଥାନ ଏବଂ ସେମାନଙ୍କର ଆପେକ୍ଷିକ ପରିବର୍ତ୍ତନଗୁଡିକ ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରିବାର ଯନ୍ତ୍ରକ studying ଶଳ ଅଧ୍ୟୟନରେ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ |କାରଣ ଟାଇପ୍ II ଡିଭାଇସରେ ଅନେକ ଭିନ୍ନ ଭିନ୍ନ ହାଇରାର୍କିକାଲ୍ ହେଟେରୋନାନଷ୍ଟ୍ରକଚର ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ, ଅନେକ ଭିନ୍ନ ସେନ୍ସିଂ ମେକାନିଜିମ୍ ପ୍ରସ୍ତାବ ଦିଆଯାଇଛି |ଏକ ପ୍ରକାର ତୃତୀୟ ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ସଂରଚନାରେ, ହେଟେରୋଜେକ୍ସନ୍ରେ ଗଠିତ ଏକ ହେଟେରୋଜେକ୍ସନ୍ ଦ୍ୱାରା କଣ୍ଡକ୍ଟେସନ୍ ଚ୍ୟାନେଲ୍ ପ୍ରାଧାନ୍ୟ ଦେଇଥାଏ ଏବଂ ଧାରଣା ପ୍ରଣାଳୀ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଭିନ୍ନ |ତେଣୁ, ଟାଇପ୍ III ସେନ୍ସରରେ ଟାର୍ଗେଟ ଗ୍ୟାସର ସଂସ୍ପର୍ଶରେ ଆସିବା ପରେ ହେଟେରୋଜକସନ ବ୍ୟାରେଜର ଉଚ୍ଚତାର ପରିବର୍ତ୍ତନ ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରିବା ଜରୁରୀ ଅଟେ |ଏହି ଡିଜାଇନ୍ ସହିତ ବିଦ୍ୟୁତ୍ ଉପଯୋଗକୁ ହ୍ରାସ କରିବା ପାଇଁ ସ୍ୱୟଂ ଚାଳିତ ଫୋଟୋଭୋଲ୍ଟିକ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସର ତିଆରି କରାଯାଇପାରିବ |ତଥାପି, ଯେହେତୁ ସାମ୍ପ୍ରତିକ ଫ୍ୟାକେସନ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଅତ୍ୟନ୍ତ ଜଟିଳ ଏବଂ ପାରମ୍ପରିକ MOS- ଆଧାରିତ କେମୋ-ପ୍ରତିରୋଧକ ଗ୍ୟାସ ସେନସର ଅପେକ୍ଷା ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା ବହୁତ କମ୍, ତଥାପି ସ୍ୱୟଂ ଚାଳିତ ଗ୍ୟାସ ସେନସର ଗବେଷଣା କ୍ଷେତ୍ରରେ ଅନେକ ଅଗ୍ରଗତି ହୋଇଛି |
ହାଇରାର୍କିକାଲ୍ ହେଟେରୋନାନଷ୍ଟ୍ରକଚର ସହିତ ଗ୍ୟାସ୍ MOS ସେନ୍ସରର ମୁଖ୍ୟ ସୁବିଧା ହେଉଛି ଗତି ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା |ତଥାପି, MOS ଗ୍ୟାସ ସେନସର କେତେକ ମୁଖ୍ୟ ସମସ୍ୟା (ଯଥା, ଉଚ୍ଚ ଅପରେଟିଂ ତାପମାତ୍ରା, ଦୀର୍ଘକାଳୀନ ସ୍ଥିରତା, ଖରାପ ଚୟନ ଏବଂ ପୁନ oduc ପ୍ରବୃତ୍ତି, ଆର୍ଦ୍ରତା ପ୍ରଭାବ ଇତ୍ୟାଦି) ବିଦ୍ୟମାନ ଅଛି ଏବଂ ସେଗୁଡିକ ବ୍ୟବହାରିକ ପ୍ରୟୋଗରେ ବ୍ୟବହାର ହେବା ପୂର୍ବରୁ ସମାଧାନ ହେବା ଆବଶ୍ୟକ |ଆଧୁନିକ MOS ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସରଗୁଡ଼ିକ ସାଧାରଣତ high ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରନ୍ତି ଏବଂ ବହୁ ଶକ୍ତି ଖର୍ଚ୍ଚ କରନ୍ତି, ଯାହା ସେନ୍ସର ଦୀର୍ଘକାଳୀନ ସ୍ଥିରତା ଉପରେ ପ୍ରଭାବ ପକାଇଥାଏ |ଏହି ସମସ୍ୟାର ସମାଧାନ ପାଇଁ ଦୁଇଟି ସାଧାରଣ ପନ୍ଥା ଅଛି: (1) କମ୍ ପାୱାର୍ ସେନ୍ସର ଚିପ୍ସର ବିକାଶ;(୨) ନୂତନ ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ସାମଗ୍ରୀର ବିକାଶ ଯାହା ନିମ୍ନ ତାପମାତ୍ରାରେ କିମ୍ବା କୋଠରୀ ତାପମାତ୍ରାରେ ମଧ୍ୟ କାର୍ଯ୍ୟ କରିପାରିବ |ସ୍ୱଳ୍ପ ଶକ୍ତି ବିଶିଷ୍ଟ ସେନ୍ସର ଚିପ୍ସର ବିକାଶ ପାଇଁ ଗୋଟିଏ ପନ୍ଥା ହେଉଛି ସେରାମିକ୍ସ ଏବଂ ସିଲିକନ୍ 163 ଉପରେ ଆଧାର କରି ମାଇକ୍ରୋହେଟିଂ ପ୍ଲେଟ୍ ତିଆରି କରି ସେନ୍ସର ଆକାରକୁ କମ୍ କରିବା |ସେରାମିକ୍ ଆଧାରିତ ମାଇକ୍ରୋ ଗରମ ପ୍ଲେଟ୍ ଗୁଡିକ ସେନ୍ସର ପ୍ରତି ପ୍ରାୟ 50-70 ମିଭି ଖାଉଥିବାବେଳେ ଅପ୍ଟିମାଇଜ୍ ସିଲିକନ୍ ଆଧାରିତ ମାଇକ୍ରୋ ଗରମ ପ୍ଲେଟ୍ 300 ° C163,164 ରେ କ୍ରମାଗତ ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରିବା ସମୟରେ ସେନ୍ସର ପ୍ରତି 2 ମେଗାୱାଟ ଖାଇପାରେ |ନୂତନ ସେନ୍ସିଂ ସାମଗ୍ରୀର ବିକାଶ ହେଉଛି ଅପରେଟିଂ ତାପମାତ୍ରା ହ୍ରାସ କରି ବିଦ୍ୟୁତ୍ ଉପଯୋଗକୁ ହ୍ରାସ କରିବାର ଏକ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଉପାୟ, ଏବଂ ସେନ୍ସର ସ୍ଥିରତାକୁ ମଧ୍ୟ ଉନ୍ନତ କରିପାରିବ |ଯେହେତୁ ସେନସର ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା ବ to ାଇବା ପାଇଁ MOS ର ଆକାର ହ୍ରାସ ହେବାରେ ଲାଗିଛି, MOS ର ତାପଜ ସ୍ଥିରତା ଅଧିକ ଚ୍ୟାଲେଞ୍ଜ ହୋଇଯାଏ, ଯାହା ସେନ୍ସର ସିଗନାଲରେ ଡ୍ରଫ୍ଟ ହୋଇପାରେ |ଏହା ସହିତ, ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ହେଟେରୋଏଣ୍ଟର୍ଫେସରେ ସାମଗ୍ରୀର ବିସ୍ତାର ଏବଂ ମିଶ୍ରିତ ପର୍ଯ୍ୟାୟ ଗଠନକୁ ପ୍ରୋତ୍ସାହିତ କରେ, ଯାହା ସେନ୍ସର ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଗୁଣ ଉପରେ ପ୍ରଭାବ ପକାଇଥାଏ |ଅନୁସନ୍ଧାନକାରୀମାନେ ରିପୋର୍ଟ କରିଛନ୍ତି ଯେ ଉପଯୁକ୍ତ ସେନ୍ସିଂ ସାମଗ୍ରୀ ଚୟନ କରି MOS ହେଟେରୋନାନଷ୍ଟ୍ରକଚର ବିକାଶ କରି ସେନସର ସର୍ବୋଚ୍ଚ ଅପରେଟିଂ ତାପମାତ୍ରା ହ୍ରାସ କରାଯାଇପାରେ |ଉଚ୍ଚ ସ୍ଫଟିକ୍ MOS ହେଟେରୋନାନଷ୍ଟ୍ରକଚର ଗଠନ ପାଇଁ ଏକ ନିମ୍ନ ତାପମାତ୍ରା ପଦ୍ଧତି ପାଇଁ ସନ୍ଧାନ ହେଉଛି ସ୍ଥିରତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିବା ପାଇଁ ଅନ୍ୟ ଏକ ପ୍ରତିଜ୍ଞାକାରୀ ଉପାୟ |
MOS ସେନସର ଚୟନକର୍ତ୍ତା ହେଉଛି ଅନ୍ୟ ଏକ ବ୍ୟବହାରିକ ପ୍ରସଙ୍ଗ, କାରଣ ବିଭିନ୍ନ ଗ୍ୟାସ୍ ଟାର୍ଗେଟ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ସହିତ ମିଳିତ ଥିବାବେଳେ MOS ସେନ୍ସରଗୁଡ଼ିକ ପ୍ରାୟତ one ଏକରୁ ଅଧିକ ଗ୍ୟାସ୍ ପ୍ରତି ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ଏବଂ କ୍ରସ୍ ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା ପ୍ରଦର୍ଶନ କରନ୍ତି |ତେଣୁ, ବ୍ୟବହାରିକ ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ଟାର୍ଗେଟ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଗ୍ୟାସ୍ ପାଇଁ ସେନ୍ସରର ଚୟନକର୍ତ୍ତା ବୃଦ୍ଧି କରିବା ଅତ୍ୟନ୍ତ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ |ବିଗତ କିଛି ଦଶନ୍ଧି ମଧ୍ୟରେ, “ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ନାକ (ଇ-ନାକ)” ନାମକ ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସର ଆରେ ନିର୍ମାଣ କରି ପସନ୍ଦକୁ ଭେକ୍ଟର କ୍ୱାଣ୍ଟାଇଜେସନ୍ (LVQ), ମୁଖ୍ୟ ଉପାଦାନ ବିଶ୍ଳେଷଣ (PCA) ଭଳି ମିଶ୍ରଣରେ ସମାଧାନ କରାଯାଇଛି | ଇତ୍ୟାଦି ଇ।ଯ Sex ନ ସମସ୍ୟା |ଆଂଶିକ ସର୍ବନିମ୍ନ ବର୍ଗ (PLS), ଇତ୍ୟାଦି 31, 32, 33, 34. ଦୁଇଟି ମୁଖ୍ୟ କାରଣ (ସେନ୍ସର ସଂଖ୍ୟା, ଯାହା ସେନ୍ସିଙ୍ଗ୍ ସାମଗ୍ରୀର ପ୍ରକାର ସହିତ ଜଡିତ, ଏବଂ ଗଣନାକାରୀ ବିଶ୍ଳେଷଣ) ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ନାକର ଦକ୍ଷତା ବୃଦ୍ଧି ପାଇଁ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ | ଗ୍ୟାସଗୁଡ଼ିକୁ ଚିହ୍ନିବା ପାଇଁତଥାପି, ସେନ୍ସର ସଂଖ୍ୟା ବୃଦ୍ଧି କରିବା ପାଇଁ ସାଧାରଣତ many ଅନେକ ଜଟିଳ ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଆବଶ୍ୟକ ହୁଏ, ତେଣୁ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ନାକର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିବା ପାଇଁ ଏକ ସରଳ ପଦ୍ଧତି ଖୋଜିବା ଅତ୍ୟନ୍ତ ଜରୁରୀ |ଏହା ସହିତ, ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀ ସହିତ MOS କୁ ପରିବର୍ତ୍ତନ କରିବା ଦ୍ୱାରା ସେନସର ଚୟନକର୍ତ୍ତା ମଧ୍ୟ ବ increase ିପାରେ |ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, NP Pd ସହିତ ପରିବର୍ତ୍ତିତ MOS ର ଉତ୍ତମ ଅନୁଗାମୀ କାର୍ଯ୍ୟକଳାପ ହେତୁ H2 ର ଚୟନକାରୀ ଚିହ୍ନଟ ହାସଲ ହୋଇପାରିବ |ସାମ୍ପ୍ରତିକ ବର୍ଷଗୁଡିକରେ, କିଛି ଅନୁସନ୍ଧାନକାରୀ MOS MOF ପୃଷ୍ଠକୁ ଆବଦ୍ଧ କରି ସାଇଜ୍ ବହିଷ୍କାର ମାଧ୍ୟମରେ ସେନ୍ସର ଚୟନରେ ଉନ୍ନତି ଆଣିବାକୁ171,172 |ଏହି କାର୍ଯ୍ୟ ଦ୍ୱାରା ଅନୁପ୍ରାଣିତ, ବସ୍ତୁ କାର୍ଯ୍ୟକାରିତା କ h ଣସି ପ୍ରକାରେ ଚୟନର ସମସ୍ୟାର ସମାଧାନ କରିପାରେ |ତଥାପି, ସଠିକ୍ ସାମଗ୍ରୀ ବାଛିବାରେ ଅନେକ କାର୍ଯ୍ୟ କରିବାକୁ ବାକି ଅଛି |
ସମାନ ଅବସ୍ଥା ଏବଂ ପଦ୍ଧତିରେ ଉତ୍ପାଦିତ ସେନ୍ସର ବ characteristics ଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡିକର ପୁନରାବୃତ୍ତି ହେଉଛି ବୃହତ ଆକାରର ଉତ୍ପାଦନ ଏବଂ ବ୍ୟବହାରିକ ପ୍ରୟୋଗଗୁଡ଼ିକ ପାଇଁ ଅନ୍ୟ ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଆବଶ୍ୟକତା |ସାଧାରଣତ ,, ସେଣ୍ଟ୍ରିଫୁଗେସନ୍ ଏବଂ ବୁଡ଼ ପକାଇବା ପଦ୍ଧତିଗୁଡିକ ଉଚ୍ଚ ଥ୍ରୋପୁଟ ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସର ଗଠନ ପାଇଁ ସ୍ୱଳ୍ପ ମୂଲ୍ୟର ପଦ୍ଧତି |ଅବଶ୍ୟ, ଏହି ପ୍ରକ୍ରିୟାଗୁଡ଼ିକରେ, ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ପଦାର୍ଥ ଏକତ୍ର ହେବାକୁ ଲାଗେ ଏବଂ ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ପଦାର୍ଥ ଏବଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ମଧ୍ୟରେ ସମ୍ପର୍କ ଦୁର୍ବଳ ହୋଇଯାଏ 68, 138, 168 | ଫଳସ୍ୱରୂପ, ସେନ୍ସର ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା ଏବଂ ସ୍ଥିରତା ଯଥେଷ୍ଟ ଖରାପ ହୋଇଯାଏ ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ପୁନ oduc ପ୍ରବୃତ୍ତି ହୋଇଯାଏ |ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଗଠନ ପଦ୍ଧତି ଯେପରିକି ସ୍ପୁଟର୍, ALD, ପଲ୍ସଡ୍ ଲେଜର ଡିପୋଜିଟେସନ୍ (PLD), ଏବଂ ଶାରୀରିକ ବାଷ୍ପ ଜମା ​​(PVD) ସିଧାସଳଖ ପ୍ୟାଲେଡ୍ ସିଲିକନ୍ କିମ୍ବା ଆଲୁମିନା ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ବିଲାୟର୍ କିମ୍ବା ମଲ୍ଟିଲାୟର୍ MOS ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଉତ୍ପାଦନକୁ ଅନୁମତି ଦିଏ |ଏହି କ ques ଶଳଗୁଡ଼ିକ ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ସାମଗ୍ରୀର ନିର୍ମାଣକୁ ଏଡାଇଥାଏ, ସେନ୍ସର ପୁନ oduc ପ୍ରବୃତ୍ତି ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ ଏବଂ ପ୍ଲାନାର୍ ପତଳା-ଫିଲ୍ମ ସେନ୍ସର ବୃହତ ଆକାରର ଉତ୍ପାଦନର ସମ୍ଭାବନାକୁ ଦର୍ଶାଏ |ଅବଶ୍ୟ, ଏହି ଫ୍ଲାଟ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରଗୁଡ଼ିକର ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା ସାଧାରଣତ 3D 3D ନାନୋଷ୍ଟ୍ରକଚର୍ଡ ସାମଗ୍ରୀ ତୁଳନାରେ ବହୁତ କମ୍ ଅଟେ, କାରଣ ସେମାନଙ୍କର ଛୋଟ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ପୃଷ୍ଠଭୂମି ଏବଂ କମ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ବ୍ୟାପାର ଯୋଗ୍ୟତା 41,174 |ସଂରକ୍ଷିତ ମାଇକ୍ରୋରେରେ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ସ୍ଥାନରେ MOS ହେଟେରୋନୋନଷ୍ଟ୍ରକଚର ବ growing ିବା ଏବଂ ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ସାମଗ୍ରୀର ଆକାର, ଘନତା ଏବଂ ମର୍ଫୋଲୋଜି ସଠିକ୍ ଭାବରେ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରିବା ପାଇଁ ନୂତନ କ ies ଶଳ ଉଚ୍ଚ ଉତ୍ପାଦନ ଏବଂ ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା ସହିତ ୱେଫର୍ ସ୍ତରୀୟ ସେନ୍ସର କମ୍ ମୂଲ୍ୟରେ ତିଆରି ପାଇଁ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ |ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ଲିୟୁ ଏବଂ ଅନ୍ୟମାନେ |174 ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ସ୍ଥାନରେ ସିଟୁ ନି (OH) 2 ନାନୋୱାଲରେ ବ by ି ଉଚ୍ଚ-ଥ୍ରୋପୁଟ ସ୍ଫଟିକ୍ ତିଆରି ପାଇଁ ଏକ ମିଳିତ ଟପ୍-ଡାଉନ୍ ଏବଂ ତଳ-ଅପ୍ ରଣନୀତି ପ୍ରସ୍ତାବ ଦେଲା |।ମାଇକ୍ରୋବର୍ନର୍ ପାଇଁ ୱାଫର୍ |
ଏଥିସହ, ବ୍ୟବହାରିକ ପ୍ରୟୋଗରେ ସେନ୍ସର ଉପରେ ଆର୍ଦ୍ରତାର ପ୍ରଭାବକୁ ମଧ୍ୟ ବିଚାର କରିବା ଜରୁରୀ ଅଟେ |ଜଳ ଅଣୁଗୁଡ଼ିକ ସେନ୍ସର ସାମଗ୍ରୀରେ ଆଡସର୍ପସନ୍ ସାଇଟଗୁଡିକ ପାଇଁ ଅମ୍ଳଜାନ ଅଣୁ ସହିତ ପ୍ରତିଦ୍ୱନ୍ଦ୍ୱିତା କରିପାରନ୍ତି ଏବଂ ଲକ୍ଷ୍ୟ ଗ୍ୟାସ୍ ପାଇଁ ସେନ୍ସର ଦାୟିତ୍ affect ଉପରେ ପ୍ରଭାବ ପକାଇପାରେ |ଅମ୍ଳଜାନ ପରି, ଜଳ ଶାରୀରିକ ଶୋଷଣ ମାଧ୍ୟମରେ ଏକ ଅଣୁ ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରିଥାଏ, ଏବଂ କେମାଇସର୍ପସନ୍ ମାଧ୍ୟମରେ ବିଭିନ୍ନ ଅକ୍ସିଡେସନ୍ ଷ୍ଟେସନରେ ହାଇଡ୍ରକ୍ସିଲ୍ ରେଡିକାଲ୍ କିମ୍ବା ହାଇଡ୍ରକ୍ସିଲ୍ ଗୋଷ୍ଠୀ ଆକାରରେ ମଧ୍ୟ ରହିପାରେ |ଏଥିସହ, ପରିବେଶର ଉଚ୍ଚ ସ୍ତର ଏବଂ ପରିବର୍ତ୍ତନଶୀଳ ଆର୍ଦ୍ରତା ହେତୁ, ଲକ୍ଷ୍ୟ ଗ୍ୟାସରେ ସେନସର ଏକ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଏକ ବଡ଼ ସମସ୍ୟା |ଏହି ସମସ୍ୟାର ସମାଧାନ ପାଇଁ ଅନେକ କ ies ଶଳ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରାଯାଇଛି, ଯେପରିକି ଗ୍ୟାସ୍ ପ୍ରାକ୍ କେନ୍ଦ୍ରକରଣ 177, ଆର୍ଦ୍ରତା କ୍ଷତିପୂରଣ ଏବଂ କ୍ରସ୍-ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ଲାଟାଇସ୍ ପଦ୍ଧତି 178, ଏବଂ ଶୁଖାଇବା ପ୍ରଣାଳୀ 1779,180 |ତଥାପି, ଏହି ପଦ୍ଧତିଗୁଡ଼ିକ ମହଙ୍ଗା, ଜଟିଳ ଏବଂ ସେନସର ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା ହ୍ରାସ କରେ |ଆର୍ଦ୍ରତାର ପ୍ରଭାବକୁ ଦମନ କରିବା ପାଇଁ ଅନେକ ଶସ୍ତା ରଣନୀତି ପ୍ରସ୍ତାବ ଦିଆଯାଇଛି |ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, Pd ନାନୋପାର୍ଟିକଲ୍ସ ସହିତ SnO2 କୁ ସଜାଇବା ଦ୍ୱାରା ଆଡ୍ସର୍ବେଡ୍ ଅମ୍ଳଜାନକୁ ଆୟନିକ୍ କଣିକାରେ ରୂପାନ୍ତର କରାଯାଇପାରେ, ଯେତେବେଳେ କି ଜଳ ଅଣୁଗୁଡ଼ିକ ଉପରେ ଆର୍ଦ୍ରତା ନିର୍ଭରଶୀଳତାକୁ ରୋକିବା ପାଇଁ SnO2 କୁ ଜଳ ଅଣୁଗୁଡ଼ିକ ସହିତ ଅଧିକ ଜଡିତ ସାମଗ୍ରୀ ସହିତ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ କରିବା |।ସେନ୍ସର 181, 182, 183. ଏହା ସହିତ, ହାଇଡ୍ରୋଫୋବିକ୍ ସାମଗ୍ରୀ ବ୍ୟବହାର କରି ଆର୍ଦ୍ରତାର ପ୍ରଭାବ ମଧ୍ୟ ହ୍ରାସ ହୋଇପାରେ 36,138,184,185 |ତଥାପି, ଆର୍ଦ୍ରତା ପ୍ରତିରୋଧକ ଗ୍ୟାସ ସେନସର ବିକାଶ ଏପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପ୍ରାରମ୍ଭିକ ପର୍ଯ୍ୟାୟରେ ଅଛି ଏବଂ ଏହି ସମସ୍ୟାର ସମାଧାନ ପାଇଁ ଅଧିକ ଉନ୍ନତ ରଣନୀତି ଆବଶ୍ୟକ |
ପରିଶେଷରେ, MOS ହେଟେରୋନାନଷ୍ଟ୍ରକଚର ସୃଷ୍ଟି କରି ଚିହ୍ନଟ କାର୍ଯ୍ୟରେ ଉନ୍ନତି (ଯଥା, ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା, ଚୟନକର୍ତ୍ତା, ସର୍ବନିମ୍ନ ସର୍ବୋଚ୍ଚ ଅପରେଟିଂ ତାପମାତ୍ରା) ହାସଲ କରାଯାଇଛି ଏବଂ ବିଭିନ୍ନ ଉନ୍ନତ ଚିହ୍ନଟ ଯନ୍ତ୍ରକ .ଶଳ ପାଇଁ ପ୍ରସ୍ତାବ ଦିଆଯାଇଛି |ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ସେନ୍ସରର ସେନ୍ସିଂ ମେକାନିଜିମ୍ ଅଧ୍ୟୟନ କରିବାବେଳେ, ଉପକରଣର ଜ୍ୟାମିତିକ ସଂରଚନାକୁ ମଧ୍ୟ ଧ୍ୟାନରେ ରଖିବା ଆବଶ୍ୟକ |ଗ୍ୟାସ ସେନସର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାକୁ ଆହୁରି ଉନ୍ନତ କରିବା ଏବଂ ଭବିଷ୍ୟତରେ ଅବଶିଷ୍ଟ ଆହ୍ address ାନର ସମାଧାନ ପାଇଁ ନୂତନ ସେନ୍ସିଂ ସାମଗ୍ରୀ ଉପରେ ଗବେଷଣା ଏବଂ ଉନ୍ନତ ଗଠନ କ strateg ଶଳ ଉପରେ ଗବେଷଣା ଆବଶ୍ୟକ |ସେନ୍ସର ବ characteristics ଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡିକର ନିୟନ୍ତ୍ରିତ ଟ୍ୟୁନିଂ ପାଇଁ, ସେନ୍ସର ସାମଗ୍ରୀର ସିନ୍ଥେଟିକ୍ ପଦ୍ଧତି ଏବଂ ହେଟେରୋନାନଷ୍ଟ୍ରକଚରର କାର୍ଯ୍ୟ ମଧ୍ୟରେ ସମ୍ପର୍କକୁ ବ୍ୟବସ୍ଥିତ ଭାବରେ ନିର୍ମାଣ କରିବା ଆବଶ୍ୟକ |ଏଥିସହ, ଆଧୁନିକ ଚରିତ୍ରକରଣ ପ୍ରଣାଳୀ ବ୍ୟବହାର କରି ଭୂପୃଷ୍ଠ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଏବଂ ହେଟେରୋଏଣ୍ଟର୍ଫେସରେ ପରିବର୍ତ୍ତନଗୁଡ଼ିକର ଅଧ୍ୟୟନ ସେମାନଙ୍କ ଧାରଣାର ଯନ୍ତ୍ରକ uc ଶଳକୁ ବର୍ଣ୍ଣିତ କରିବାରେ ସାହାଯ୍ୟ କରିଥାଏ ଏବଂ ହେଟେରୋନାନଷ୍ଟ୍ରକଚର ସାମଗ୍ରୀ ଉପରେ ଆଧାର କରି ସେନ୍ସର ବିକାଶ ପାଇଁ ସୁପାରିଶ ପ୍ରଦାନ କରିଥାଏ |ଶେଷରେ, ଆଧୁନିକ ସେନ୍ସର ଗଠନ କ strateg ଶଳର ଅଧ୍ୟୟନ ହୁଏତ ସେମାନଙ୍କ ଶିଳ୍ପ ପ୍ରୟୋଗଗୁଡ଼ିକ ପାଇଁ ୱେଫର୍ ସ୍ତରରେ କ୍ଷୁଦ୍ର ଗ୍ୟାସ୍ ସେନ୍ସର ଗଠନକୁ ଅନୁମତି ଦେଇପାରେ |
ଜେନଜେଲ, NN et al।ସହରାଞ୍ଚଳରେ ଆଜମା ରୋଗୀଙ୍କଠାରେ ଇନଡୋର ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଡାଇଅକ୍ସାଇଡ୍ ସ୍ତର ଏବଂ ଶ୍ୱାସକ୍ରିୟା ଲକ୍ଷଣଗୁଡିକର ଏକ ଦ୍ରାଘିମା ଅଧ୍ୟୟନ |ପଡୋଶୀସ୍ୱାସ୍ଥ୍ୟ ଦୃଷ୍ଟିକୋଣ116, 1428–1432 (2008) |


ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ନଭେମ୍ବର -04-2022 |